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簡介

Lumina AT1光學(xué)表面缺陷分析儀可對玻璃、半導(dǎo)體及光電子材料進(jìn)行表面檢測,。Lumina AT1既能夠檢測SiC,、GaN、藍(lán)寶石和玻璃等透明材料,，又能對Si,、砷化鎵,、磷化銦等不透明基板進(jìn)行檢測，其價(jià)格優(yōu)勢使其成為適合于研發(fā)/小批量生產(chǎn)過程中品質(zhì)管理及良率改善的有力工具,。

Lumina AT1結(jié)合散射測量,、橢圓偏光、反射測量與表面斜率等基本原理,，以非破環(huán)性方式對Wafer表面的殘留異物，表面與表面下缺陷,，形狀變化和薄膜厚度的均勻性進(jìn)行檢測,。

1.偏振通道用于薄膜、劃痕和應(yīng)力點(diǎn),；

2.坡度通道用于凹坑,、凸起；

3.反射通道用于粗糙表面的顆粒,；

4.暗場通道用于微粒和劃痕,；

二、功能

l 主要功能

1. 缺陷檢測與分類

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一性測量

4. 表面粗糙度測量

5. 薄膜應(yīng)力檢測

l 技術(shù)特點(diǎn)

1.透明,、半透明和不透明的材料均可測量,，比如硅、化合物半導(dǎo)體或金屬基底,；

2.實(shí)現(xiàn)亞納米的薄膜涂層,、納米顆粒、劃痕,、凹坑,、凸起、應(yīng)力點(diǎn)和其他缺陷的全表面掃描和成像,；

3.150mm晶圓全表面掃描的掃描時(shí)間為3分鐘,，50x50mm樣品30秒內(nèi)可完成掃描并顯示結(jié)果；

4.高抗震性能,，系統(tǒng)不旋轉(zhuǎn),，形狀無關(guān)，可容納非圓形和易碎的基底材料,；

5.高達(dá)300x300mm的掃描區(qū)域,；可定位缺陷，以便進(jìn)一步分析,；技術(shù)能力

三,、應(yīng)用案例

1. 透明/非透明材質(zhì)表面缺陷檢測

2. MOCVD外延生長成膜缺陷管控

3. PR膜厚均一性評價(jià)

4. Clean制程清洗效果評價(jià)

5. Wafer在CMP后表面缺陷分析

6. 多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，如AR/VR,、Glass,、光掩模版,、藍(lán)寶石、Si wafer等