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品牌：Elionix
型號(hào)：ELS-F125/F100/HS50
關(guān)鍵詞標(biāo)簽：電子束曝光，電子束直寫
簡短描述：（<40字）：利用電子束在抗蝕劑上書寫納米級(jí)圖案,，通過ELB設(shè)備曝光和顯影,，可用于加工sub-10nm的精細(xì)結(jié)構(gòu)。
一,、簡介
ELS-F125是Elionix推出的世界上*早的加速電壓高達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)之一,，其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下優(yōu)點(diǎn)：
l超高書寫精度
- 5 nm 線寬精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)*小化 @ 125 kV
l高通量,、均勻性好
- 超大視野書寫:500um視場下10 nm線寬
- 高束流下電子束直徑依然很小,，高通量而不影響分辨率,，2 nm 電子束直徑@ 1 nA
l界面用戶友好
基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:
-簡單易用的圖案設(shè)計(jì)功能
-易于控制的電子束條件
二,、主要功能
l主要應(yīng)用
納米器件的微結(jié)構(gòu)
集成光學(xué)器件,，如光柵，光子晶體等
NEMS結(jié)構(gòu),，復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)
光刻掩模板,，壓印模板
l技術(shù)能力
型號(hào) | ELS-F125 | ELS-F100 | ELS-HS50 |
電子槍 | ZrO/W 熱場發(fā)射槍 | ZrO/W 熱場發(fā)射槍 | ZrO/W 熱場發(fā)射槍 |
加速電壓 | 125 kV， 75 kV,， 25 kV | 100 kV,， 50 kV， 25 kV | 50 kV,， 20 kV |
*小束流直徑 | Φ 1.7 nm (@ 125 kV) | Φ 1.8 nm (@ 100 kV) | Φ 2.8nm (@ 50 kV,，1 nA) |
*小線寬 | 5 nm or less (@125 kV) | 6 nm or less (@100 kV) | 20 nm (@ 50 kV， 2 nA) |
電子束束流 | 5 pA to 100 nA | 20 pA to 100 nA | 1 nA to 1 μA |
視場范圍 | Max. 3,，000 μm ｘ 3,，000 μm | Max. 3，000 μm ｘ 3,，000 μm | Max. 3,，000 μm ｘ 3，000 μm |
Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | Min. 100 μm ｘ 100 μm | |
束流定位 | Max. 1,，000,，000 ｘ 1，000,，000 (20bit DAC) | Max. 1,，000，000 ｘ 1,，000,，000 (20bit DAC) | Max. 1，000,，000 ｘ 1,，000，000 (20bit DAC) |
束流定位分辨率 | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm | Min. 0.1 nm |
大樣品尺寸 | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask | 8" wafer or 7" square mask |
三,、應(yīng)用
暫無數(shù)據(jù),！
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