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HOLITH界面光刻技術(shù)----“納米壓印友好伴侶”

HOLITH界面光刻裝置使用兩束干涉激光在光界面上形成周

期性光柵和點(diǎn)/孔圖案,。 HOLITH納米成像系統(tǒng)具有新型力

學(xué)，光學(xué)和電學(xué)設(shè)計,，可在200nm-2μm的周期性范圍內(nèi)于4

英寸晶片上做出納米結(jié)構(gòu)圖案,，圖案*小形貌可低50nm。

***的HOLITH**技術(shù)可使用戶僅通過簡單的鼠標(biāo)點(diǎn)擊操

作便能作出100nm以下尺寸的高品質(zhì)高均一性線性光柵和

2D/3D圖像,。在HOLITH界面光刻裝置中無需使用遮罩和模

具,。

優(yōu)勢：

· 無遮罩過程：低成本、多功能,、可伸縮

· 計算機(jī)系程序自動化光學(xué)結(jié)構(gòu)和排列控制

· 簡單操作,，無需光學(xué)培訓(xùn)

· 相比遮罩定位器系統(tǒng)成本更低

· 200nm范圍內(nèi)具有高分辨率

· *低特征尺寸小于50nm

· 無需遮罩及模具

· 可以制作大面積2D/3D納米壓印模具（4/6英寸）

· 可以操作不平整晶片

· 周期精度：<+-2.5%

· All-fiber-optic setup replacing free-

space optical components

· Special optical fiber delivers light from

laser

· Fiber-optic beam splitter splits the

laser beam into two coherent beams

· Output port of the fiber performs

spatial filtering

· Close-loop feedback control stabilizing

interference pattern

低成本、不受環(huán)境因素干擾,，使自動化成為可能：自由改變?nèi)肷浣嵌日{(diào)整模式周期。

Holith 納米圖案化結(jié)構(gòu)

應(yīng)用：

能源

· 太陽能電池抗反射結(jié)構(gòu)

· 太陽能電池光子操縱

· LEDs燈管中的光提取

· 圖案化藍(lán)寶石基板(PSS)

光學(xué)器件

· 1-D和2-D光柵光譜

· 大范圍等離子體結(jié)構(gòu)

· 光子晶體

· 超穎表面

· 高對比度光柵過濾器和反射器

· 亞波長和衍射光學(xué)器件

·計量光柵

·結(jié)構(gòu)化的顏色

材 料

· 超疏水/親水表面

· 誘導(dǎo)自組裝

· 表面增強(qiáng)拉曼熒光

· 生物醫(yī)學(xué)傳感器

納米裝配

·納米壓印磨具裝配

·先進(jìn)納米裝配過程開發(fā)