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勻膠機(jī)，又稱甩膠機(jī),、勻膠臺(tái),、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),，英文叫Spin Coater或者Spin Processor,。總的來說,，他們?cè)矶际且粯拥?，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān),。

勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體,、硅片、晶片,、基片,、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝,， 可在工礦企業(yè)、科研,、教育等單位作生產(chǎn),、科研、教學(xué)之用,。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,，并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司提供的勻膠機(jī),，在高校,、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)，相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求,。

產(chǎn)地：韓國ECOPIA公司

型號(hào)：SP-6

技術(shù)規(guī)格：

1. 旋轉(zhuǎn)襯底**尺寸：四英寸,、六英寸、八英寸,、十二英寸等,；

2. 按客戶需求提供整體解決方案，可以旋涂*小3mm,， **1000mm襯底,；

3. 從手動(dòng)到全自動(dòng)溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大；

4. 無振動(dòng)轉(zhuǎn)速**5000RPM,；

5. 真空吸附,，無污染；

6. 臺(tái)式勻膠機(jī),，占用空間?。?/span>

7. 具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩,，并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗,；

8. 聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料；

9. 液晶顯示屏人機(jī)界面,，甚至帶著手套都可以方便使用,；

10.可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng)；

11. 高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序,；

12. BLDC馬達(dá),，高穩(wěn)定性，無熱量散發(fā)(優(yōu)于DC馬達(dá)),；

應(yīng)用范圍：

可用于光刻膠(PR),，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics),，攙雜劑(Dopant),，硅薄膜(Silica Film),，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液,；