看了勻膠機,旋涂儀的用戶又看了
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勻膠機,,又稱甩膠機、勻膠臺,、旋轉(zhuǎn)涂膠機,、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機,、旋轉(zhuǎn)涂布機,、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀,、勻膜機,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,??偟膩碚f,他們原理都是一樣的,,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān),。
勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片,、晶片,、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝,, 可在工礦企業(yè),、科研、教育等單位作生產(chǎn),、科研,、教學(xué)之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用,。
由我司提供的勻膠機,在高校,、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,,相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地:韓國ECOPIA公司
型號:SP-6
技術(shù)規(guī)格:
1. 旋轉(zhuǎn)襯底**尺寸:四英寸,、六英寸,、八英寸、十二英寸等,;
2. 按客戶需求提供整體解決方案,可以旋涂*小3mm,, **1000mm襯底,;
3. 從手動到全自動溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大;
4. 無振動轉(zhuǎn)速**5000RPM,;
5. 真空吸附,,無污染;
6. 臺式勻膠機,,占用空間?。?/span>
7. 具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩,,并且勻膠機主機易清洗,;
8. 聚四氟乙烯(PTFE)的勻膠機可用于強腐蝕性化學(xué)材料;
9. 液晶顯示屏人機界面,,甚至帶著手套都可以方便使用,;
10.可以準確重復(fù)運行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng);
11. 高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序,;
12. BLDC馬達,,高穩(wěn)定性,,無熱量散發(fā)(優(yōu)于DC馬達);
應(yīng)用范圍:
可用于光刻膠(PR),,聚酰亞胺(Polyimide),,金屬有機物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),,硅薄膜(Silica Film),,以及大多數(shù)的有機溶液、水溶液,;
暫無數(shù)據(jù),!