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快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備,。

RSO-200快速退火爐可以在真空,、惰性氣氛,、不同的工藝氣體環(huán)境下使用,，適用于樣品尺寸大、但是退火溫度不太高的樣品,。

儀器特點(diǎn)：

- **工藝溫度：650攝氏度,；

- 加熱區(qū)域：200mm x 170mm；

- 高性價(jià)比,；

參考用戶：

中電13所等,。

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