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儀器特點(diǎn)：

• 腔體材料：不銹鋼，鋁,，或者Bell Jar,；

• 分子泵：70，250,，500 l/sec,； 一級(jí)泵：機(jī)械泵或干泵；

• 13.5MHz,， 300-600W射頻電源,；1KW直流電源；

• QCM在線厚度測(cè)量,，厚度分辨率<0.1nm,；

• 帶有觀察窗的門，方便樣品取放,；

• Labview軟件,，PC控制；

• 多重密碼保護(hù),；

• 全安全互鎖設(shè)計(jì),；

選配功能：

• 向上，向下,，側(cè)向?yàn)R射；

• 射頻,，直流,、脈沖直流濺射；

• 共濺射,，反應(yīng)濺射,；

• 組合濺射；

• 射頻,、直流偏置(1000V),；

• 基底加熱：不高于700攝氏度；

• 厚度監(jiān)控,；

• 基底射頻等離子清洗,；

• Load-Lock,，以及自動(dòng)樣品取放；

不同型號(hào)選擇：

• NSC系列,，立式磁控濺射系統(tǒng),；

• NSC系列，立式緊湊磁控濺射系統(tǒng),；

• NSC系列,，臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)；

• 雙腔體系統(tǒng),，NSR系列,，磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE)；

• 雙腔體系統(tǒng),，NSP系列,，磁控濺射+PECVD；

• 雙腔體系統(tǒng),，NST系列,，磁控濺射+熱蒸發(fā)；