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儀器特點：
腔體材料：不銹鋼，鋁,，或者Bell Jar,；
分子泵：70，250,，500 l/sec,； 一級泵：機械泵或干泵；
13.5MHz,， 300-600W射頻電源,；1KW直流電源；
QCM在線厚度測量,，厚度分辨率<0.1nm,；
帶有觀察窗的門，方便樣品取放,；
Labview軟件,，PC控制；
多重密碼保護；
全安全互鎖設(shè)計,；
選配功能：
向上,，向下，側(cè)向濺射,；
射頻,，直流、脈沖直流濺射,；
共濺射,，反應(yīng)濺射；
組合濺射,；
射頻,、直流偏置(1000V),；
基底加熱：不高于700攝氏度,；
厚度監(jiān)控；
基底射頻等離子清洗,；
Load-Lock,，以及自動樣品取放；
不同型號選擇：
NSC系列,，立式磁控濺射系統(tǒng),；
NSC系列，立式緊湊磁控濺射系統(tǒng),；
NSC系列,，臺式磁控濺射系統(tǒng)；
雙腔體系統(tǒng),，NSR系列,，磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE)；
雙腔體系統(tǒng),，NSP系列,，磁控濺射+PECVD；
雙腔體系統(tǒng),，NST系列,，磁控濺射+熱蒸發(fā)；
暫無數(shù)據(jù),！
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