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韓國(guó)樣本
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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) - 極高性價(jià)比!
型號(hào):EasyDEP
產(chǎn)地:韓國(guó)原裝進(jìn)口
儀器特點(diǎn):
1/ 沉積材料:金屬,;
2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底),;
3/ 沉積方式:熱蒸發(fā)舟;
4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr,;
技術(shù)規(guī)格:
1/ **樣品尺寸:6英寸,;
2/ 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;
3/ 不銹鋼腔體,,ID250 x H300 mm,;
4/ 真空泵:機(jī)械泵,150L/Min,;擴(kuò)散泵,,215L/Sec;
5/ 薄膜厚度監(jiān)控:石英振蕩傳感器實(shí)時(shí)厚度控制,;
6/ 厚度精度:0.5%,;
7/ 熱蒸發(fā)源:4英寸熱蒸發(fā)舟,交流電源,;
暫無數(shù)據(jù),!