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RTP-100/150快速退火爐為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),，分為RTP-100,， RTP-150， RSO-200,，VPO-300共四個型號,，分別對應4英寸、6英寸,、8英寸,、12英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。

技術規(guī)格：

- **溫度：1200攝氏度,；

- 升溫速率：150攝氏度/秒,；

- 降溫速度：200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度),；

- 溫控均勻性：≤ 1.5%設定溫度；

- 加熱方式：紅外鹵素燈,，頂部及底部加熱,；

- 燈管數(shù)量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)，24支/21千瓦(RTP-150),；

- 腔體冷卻：水冷方式,；

- 襯底冷卻：氮氣吹掃；

- 工藝氣路：MFC控制,，*多4路 (氮氣,、氬氣、氧氣,、氫氮混合氣等),；

- 主機尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，約55Kg,；

儀器特點：

- 真空快速退火爐,，有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa),；

- 可在不同氣氛環(huán)境下使用,，如惰性氣體、氧氣,、氫氮混合氣等,；

- 控制方式：SIMATIC， SPS人機界面控制,，7英寸觸摸屏,；

- 可存儲50個程序，每個程序*多分為50段控制,；

- 全自動智能控制,，包括溫度、時間,、氣體流量,、真空度、循環(huán)水均可自動設置,；

- 優(yōu)異的溫控均勻性,，**的工藝重現(xiàn)性；

- 小尺寸臺式設計,；

應用領域：

- 離子注入/接觸退火,；

- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA),，快速熱氧化(RTO),，快速熱氮化(RTN),；

- 可在真空、惰性氣氛,、氧氣,、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用,；

- SiAu,， SiAl， SiMo合金化,；

- 低介電材料,；

- 晶體化,，致密化,；

- 太陽能電池片鍵合；

等等...

參考客戶：

西安交通大學,、西安電子科技大學,、中國科技大學、江漢大學,、中科院上海技術物理所,、中科院蘇州納米所、北京航天儀器研究所,、京東方,、武漢光迅、能華微電子等,。