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磁控濺射鍍膜機 - 緊湊,，適合科研,，極高性價比！
型號：AP-MMS1
產(chǎn)地：韓國原裝進口
儀器特點：
1/ 沉積材料：金屬,、氧化物等,；
2/ 膜厚均勻性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；
3/ 沉積方式：直流磁控濺射,，射頻磁控濺射,；
4/ 極限真空：5.0 x 10 -6 Torr；
技術(shù)規(guī)格：
1/ **樣品尺寸：6英寸,；
2/ 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；
3/ 不銹鋼腔體,，ID250 x H300 mm,；
4/ 真空泵：機械泵，150L/Min,；
5/ 靶槍：2英寸直徑 (選配：3英寸),；
6/ 直流電源：2KW(800V - 2.5A)；
7/ 氣體傳輸模塊：MFC控制,，氬氣,，100sccm；
暫無數(shù)據(jù),！
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