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產(chǎn)地：美國(guó)；

型號(hào)：CAPOS,；

通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史*悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd,、Pb,、Ag、Al,、Cu,、Cr、Au,、Ni等材料,。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

技術(shù)規(guī)格特點(diǎn)：

- 基底尺寸：4英寸,，6英寸,，8英寸；

- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm,；

- 熱蒸發(fā)源：4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟,，交流電源；

- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇,，不同尺寸的箱式腔室可選,；

- 泵：機(jī)械泵，擴(kuò)散泵或者分子泵,，供客戶選擇,；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空,，支持多種樣品襯底,；

- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制，使用GUI進(jìn)行工藝控制,、數(shù)據(jù)處理,、遠(yuǎn)程支持；

- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM),，光學(xué)監(jiān)測(cè),，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制,；

- 襯底固定：?jiǎn)我r底固定，多襯底固定,，行星式襯底固定,，客戶化襯底固定方式；

- 襯底夾具：加熱,，冷卻,，偏置，旋轉(zhuǎn)等；