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產地：美國,；

型號：CAPOS,；

通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜,，熱蒸發(fā)鍍膜技術是歷史*悠久的PVD鍍膜技術之一,。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb,、Ag,、Al、Cu,、Cr,、Au、Ni等材料,。以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖。

技術規(guī)格特點：

- 基底尺寸：4英寸,，6英寸,，8英寸；

- 基底旋轉：0~10rpm,；

- 熱蒸發(fā)源：4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟，交流電源,；

- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇，不同尺寸的箱式腔室可選,；

- 泵：機械泵,，擴散泵或者分子泵,，供客戶選擇,；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸,，高真空,，支持多種樣品襯底；

- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制,，使用GUI進行工藝控制,、數據處理、遠程支持；

- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM),，光學監(jiān)測,，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術或控制,；

- 襯底固定：單襯底固定,，多襯底固定，行星式襯底固定,，客戶化襯底固定方式,；

- 襯底夾具：加熱，冷卻,，偏置,，旋轉等；