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霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率,、霍爾系數(shù)、導(dǎo)電類型等重要參數(shù),，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必備的工具。

ECOPIA公司的HMS系列霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)主要由恒電流源,、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器,、低溫(77K)測(cè)量系統(tǒng)及磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)組成，擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置，是一套非常成熟的儀器系統(tǒng),。同時(shí)HMS系列儀器獲得多項(xiàng)霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng),、測(cè)量方法的**，代表了霍爾效應(yīng)測(cè)量的全球品質(zhì)及合理的產(chǎn)品價(jià)格,，并為全球客戶所認(rèn)可,。該產(chǎn)品2004年7月通過(guò)CE認(rèn)證。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1,、 可靠的精度及重現(xiàn)性恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,，將可以接收的誤差降到*低；范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲,；軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì),，確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性,。2,、 產(chǎn)品小型化及操作簡(jiǎn)單化小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測(cè)量系統(tǒng)(77K)，確保儀器操作非常簡(jiǎn)單,；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm,、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量,，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小,。3、I-V曲線及I-R曲線測(cè)量采用圖表的方式,，測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A,、B、C,、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系,，并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性,。4,、 多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration),、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration),、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity),、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient),、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等,。

產(chǎn)品組成：

主機(jī)(精密恒電流源+范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器) / 磁體包(包括樣品板) / 軟件等,。

[HMS-3000軟件界面一]

[HMS-3000軟件界面二(I-V和I-R曲線測(cè)量)]

產(chǎn)品規(guī)格：

1,、 主要儀器參數(shù)輸入電流：1nA ~ 20mA；

電阻率：10exp(-5) ~ 10exp7 Ω.cm,；

載流子濃度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3,；

遷移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；

磁場(chǎng)強(qiáng)度：0.37T,， 0.55T,， 1T， 0.25~1T變場(chǎng)磁體,；

樣品測(cè)量板：PCB樣品板,，SPCB彈簧樣品板，晶圓樣品板等,；

樣品尺寸：5mmX5mm ~ 20mmX20mm (可選配30mm或2inch大樣品板),；

測(cè)量溫度：常溫，77K液氮??；

2、 軟件操作環(huán)境XP / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下3,、 實(shí)驗(yàn)結(jié)果體載流子濃度,、表面載流子濃度；遷移率;

霍爾系數(shù),；電阻率,，方塊電阻；磁致電阻,；電阻的縱橫比率,；4、 儀器尺寸和重量主機(jī)尺寸：360×300×105 mm (W×H×D)磁體Kit尺寸：200×120×110 mm (W×H×D),；凈重：7.7千克,；5、 測(cè)量材料Si,， SiGe,， SiC， ZnO,， GaAs,， InGaAs， InP,， GaN,， ITO等所有半導(dǎo)體薄膜(P型和N型),；

參考用戶：

HMS-3000霍爾效應(yīng)儀國(guó)內(nèi)科研用戶超過(guò)了100臺(tái),。

清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué),、上海交大,、中國(guó)科大、浙江大學(xué),、哈工大,、電子科大、西北工大,、湖南大學(xué),、中南大學(xué)、上海大學(xué),、中科院物理所,、半導(dǎo)體所、長(zhǎng)春光機(jī)所,、蘭州化物所,、上海技物所、蘇州納米所...