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勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),、勻膠機(jī)、旋涂儀,、涂膠機(jī),、鍍膜機(jī)、涂層機(jī) |
一,、產(chǎn)品概述:
650型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體,、化工材料、硅片,、晶片,、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,,制版的表面涂覆,。MYCRO的MSC系列勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,,這正是650型勻膠機(jī)的特點(diǎn),。
二、勻膠機(jī)工作原理:
勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān),。
三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo):
1,、腔體尺寸:12.5英寸 (318 毫米),;
2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直徑的材料,,方片178x178mm,,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);
3,、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,,000rpm,
4,、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載),;
5,、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;
6,、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,,重復(fù)性< 0.2rpm;
7,、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度,;
8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),,抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,,美觀大方;
9,、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10,、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11,、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,,并且無需再校準(zhǔn)!]
12,、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,,50/60赫茲;
13,、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件,;
14、原裝進(jìn)口水平測試儀,;
15,、兩袋密封圈;
16,、廢液接收單元,;
可選配置: IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制,; OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì),,帶遠(yuǎn)程控制; UD自動(dòng)滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,,機(jī)械裝置,; |
暫無數(shù)據(jù)!