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真空快速退火爐AS-Micro

AS-Micro是一款適用于實驗室研究的真空快速退火爐,，性能**。

可處理從幾平方毫米到3英寸直徑或正方形的基板,。

可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝,。

**溫度1250 ℃，*快升溫速率250℃/Second,。

全程PC軟件控制升溫程序,，保證溫度不過沖，控溫精度準確,。

擁有雙腔室,，避免交叉污染。

應(yīng)用：

•快速熱退火

•植入退火

•歐姆接觸退火

•快速熱氧化（RTO）

•快速熱氮化（RTN）

•石墨烯快速熱化學氣相沉積

產(chǎn)品特點：

1、紅外鹵素燈管加熱,，冷卻采用風冷（低噪音水平,，無需壓縮空氣）；

2,、加熱由功率控制而非電壓控制,，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到*初的熱處理效果,；

3、石英腔體,，腔體冷卻采用水冷,，冷壁設(shè)計，雙層不銹鋼,；

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于：1,、無記憶，2,、工藝重復性高,，3、冷卻速度快,；

4,、反應(yīng)腔室的設(shè)計，氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面,，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生,。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；

5,、快速數(shù)字PID控溫,；

6、熱電偶設(shè)計上采用中間和邊緣安裝模式,，測試的樣品的溫度,，控溫精準；

7,、大氣和真空工藝均適合,，凈化氣體配針閥；

8,、*多3工藝氣體,，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器,；

9,、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；

10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計,，用于小樣品測試,；

11、可選配分子泵,，用于高真空測試,；

12,、可選配雙腔體設(shè)計,， 達到高潔凈工藝，避免交叉污染,。

產(chǎn)品標準配置及規(guī)格參數(shù)：

1,、樣品**尺寸：3-inch；

2,、溫度范圍：室溫~1250 ℃,；

3,、升溫速率：0.1 ℃~250 ℃/s ,；

4、溫度控制：快速數(shù)字PID控制,；

5,、熱電偶：2N型熱電偶,；

6,、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計；

7,、配置真空泵及真空規(guī)：

8,、樣品腔室尺寸（單室）：700*700*700mm (W*D*H),；凈重82Kg,；

樣品腔室尺寸（雙室）：700*700*1825mm (W*D*H；凈重142Kg,；