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A4P四點(diǎn)探頭采用100mm,，150mm，200mm或300mm系統(tǒng),，無(wú)需維護(hù)且易于使用,。該系統(tǒng)有多種選擇,，包括寬范圍熱測(cè)試，非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤(pán)和幾乎適用于任何應(yīng)用的4點(diǎn)探針,。

電阻率測(cè)量自動(dòng)化軟件

A4P-200-PLUS自動(dòng)化軟件允許使用電阻率測(cè)繪系統(tǒng)進(jìn)行半自動(dòng)或全自動(dòng)測(cè)試,。該接口設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單但功能強(qiáng)大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動(dòng)測(cè)試程序,?；?/span>LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu)，可輕松集成客戶自己的測(cè)試和測(cè)量設(shè)備,。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。

A4P四點(diǎn)探頭功能

系統(tǒng)提供快速,，準(zhǔn)確的測(cè)量并且非常用戶友好,。

直觀的基于LabView的開(kāi)源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)以及結(jié)果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu),。

寬電阻率測(cè)量和薄層電阻范圍,。

溫度范圍：從低于-60°C到超過(guò)300°C。

可選擇1種,，5種,，9種，25種,，49種或121種測(cè)量模式以及自定義電阻率測(cè)量模式,。

可調(diào)式真空吸盤(pán)適用于5mm至300mm的樣品尺寸。

ASTM,，SEMI或簡(jiǎn)單輸出的快速測(cè)量模式,。

點(diǎn)擊或點(diǎn)擊或直接坐標(biāo)輸入晶圓導(dǎo)航。

與Jandel探頭兼容,。

該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴(kuò)展溫度測(cè)試的電阻率測(cè)試,。

自動(dòng)化軟件功能

在大多數(shù)情況下，所有自動(dòng)化,，測(cè)量和數(shù)據(jù)采集都可以通過(guò)在簡(jiǎn)單的筆記本電腦上運(yùn)行的軟件包進(jìn)行管理,。

不需要昂貴的硬件。

軟件允許用戶生成測(cè)量圖案圖,。

軟件允許用戶生成結(jié)果的2D和3D地圖,。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值,。

軟件內(nèi)置了熱卡盤(pán)的完全控制,，允許復(fù)雜且高度可定制的測(cè)試序列。

該軟件是開(kāi)源的,，客戶可以對(duì)其進(jìn)行定制以滿足任何特定需求,。

MicroXact團(tuán)隊(duì)與客戶一起努力,，盡快開(kāi)發(fā)出的自動(dòng)化解決方案。

A4P 4點(diǎn)探頭規(guī)格

A4P-200-TC

以下規(guī)格適用于標(biāo)準(zhǔn)配置,。在大多數(shù)情況下,，每個(gè)A4P 4點(diǎn)探針系統(tǒng)都可以定制，以超過(guò)這些值,。

晶圓尺寸高達(dá)300mm

真空吸盤(pán)多區(qū)真空

兼容的探頭 Jandel探頭

饋通終端 BNC,，Triax或香蕉插頭

自動(dòng)化軟件基于LabView，與Windows兼容