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A4P四點探頭采用100mm,，150mm,，200mm或300mm系統(tǒng)，無需維護且易于使用,。該系統(tǒng)有多種選擇,，包括寬范圍熱測試，非標準材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應用的4點探針,。

電阻率測量自動化軟件

A4P-200-PLUS自動化軟件允許使用電阻率測繪系統(tǒng)進行半自動或全自動測試,。該接口設(shè)計簡單但功能強大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動測試程序,?；?/span>LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu)，可輕松集成客戶自己的測試和測量設(shè)備,。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上,。

A4P四點探頭功能

系統(tǒng)提供快速，準確的測量并且非常用戶友好,。

直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項以及結(jié)果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu),。

寬電阻率測量和薄層電阻范圍,。

溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。

可選擇1種,，5種,，9種，25種,，49種或121種測量模式以及自定義電阻率測量模式,。

可調(diào)式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。

ASTM,，SEMI或簡單輸出的快速測量模式,。

點擊或點擊或直接坐標輸入晶圓導航。

與Jandel探頭兼容。

該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴展溫度測試的電阻率測試,。

自動化軟件功能

在大多數(shù)情況下,，所有自動化，測量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運行的軟件包進行管理,。

不需要昂貴的硬件,。

軟件允許用戶生成測量圖案圖。

軟件允許用戶生成結(jié)果的2D和3D地圖,。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值,。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件內(nèi)置了熱卡盤的完全控制,，允許復雜且高度可定制的測試序列,。

該軟件是開源的，客戶可以對其進行定制以滿足任何特定需求,。

MicroXact團隊與客戶一起努力,，盡快開發(fā)出的自動化解決方案。

A4P 4點探頭規(guī)格

A4P-200-TC

以下規(guī)格適用于標準配置,。在大多數(shù)情況下,，每個A4P 4點探針系統(tǒng)都可以定制，以超過這些值,。

晶圓尺寸高達300mm

真空吸盤多區(qū)真空

兼容的探頭 Jandel探頭

饋通終端 BNC,，Triax或香蕉插頭

自動化軟件基于LabView，與Windows兼容