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Scribe Model 200-6適用于在6英寸晶圓上分割元件,。功能強大的，無振動,，操作簡單,，無需過多培訓即可使用。包括數(shù)字十字準線的視頻集進行垂直定向,； LCD屏幕可顯示參數(shù),，可通過編程輪進行選擇,。

磨削頭

• Z軸運動，可調(diào)節(jié)角度

•可調(diào)節(jié)劃線力從10gr到250gr,，恒重

•金剛石工具：可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)

•刀具偏置,，十字準線

•精度：±5μm

晶圓

•晶圓片直徑6''

•真空吸附

•框架/環(huán)形適配器

•電動夾頭旋轉(zhuǎn)

•夾頭旋轉(zhuǎn)對準，90度/可編程

•X Y軸/分辨率1μm;精度±5μm

•無振動設計

•通過漸進式操縱桿控制運動

視覺系統(tǒng)

•光學放大倍率,，與其他應用兼容

•視野：標準1mm

•TFT顯示器17''和CCD彩色高清攝像機

•目標發(fā)生器

•LED照明

參數(shù)

•步驟指數(shù)

•Y劃線速度從1到100毫米/秒

•劃線長度可編程

•重復劃線

•劃線數(shù)量

•多指數(shù)功能

•削減計數(shù)器

技術規(guī)格

功率：100 / 230VAC ,，500watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。