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濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)
手動型SCS112
SCS112型是一款高效率手動型的系統(tǒng)，專門設計用于在劃片或劃片后清洗晶片,?？赏ㄟ^施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來清潔安裝在環(huán)（抓環(huán)）或膠片框架上的晶圓，然后使用高轉速,，氮氣輔助或紅外加熱燈進行快速干燥,。該系統(tǒng)**可處理8英寸晶圓。
功能：
可處理高達8英寸的晶圓,，包括未安裝的晶片以及膠帶環(huán)形和薄膜框架安裝晶片,。
振蕩高壓直流水,，風扇射流組裝(取決于高達1500或2000磅/平方英寸配置上)或霧化噴霧噴嘴，高效清潔,。
快速有效干燥的氮氣吹掃和循環(huán)結束時的氮晶片提升,。
微處理器控制并儲存多種配方。
直流無刷主軸電機變速,。
DI水凈化,，營造無細菌系統(tǒng)。
內(nèi)置安全聯(lián)鎖和正極蓋,，運行期間鎖定,。
選項：
托盤，**可裝載8英寸晶片
用于干燥的紅外線加熱燈
消除靜電的二氧化碳再生離子器
內(nèi)置排氣鼓風機
真空發(fā)生器
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓,，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號：SCS112
可用機械臂：1
**基板尺寸：高達8英寸的晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多3
分配：1
尺寸：26英寸寬x 21英寸深x 40英寸高
重量：約200磅
功率：220伏交流電,，10安培，50/60赫茲
手動型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模,，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案,。該系統(tǒng)非常可靠且具有成本效益,，它經(jīng)過驗證,，擁有各種清潔技術。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項,，包括高壓DI水,，霧狀噴嘴，刷子,，Megasonic噴嘴等等,。快速有效的干燥技術是結合了可變轉速和可選項加熱DI水,，氮氣輔助或加熱燈,。SCSe124具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過程參數(shù),，并儲存多達10個程序,。
功能：
可處理直徑高達10英寸的基板。
主軸組件帶有直流無刷電機（可升級以獲得更多功能）,。
可調(diào)節(jié)機械臂速度和行程位置,。
徑向排氣腔，可實現(xiàn)**層流,。
獨立式聚丙烯腔室,。
微處理器可控制10個程序段。
內(nèi)置安全聯(lián)鎖,。
按鈕蓋啟動打開/關閉,。
觸摸屏圖形用戶界面（GUI）,，易于編程和安全鎖定以及屏幕錯誤報告。
*多可使用2個機械臂,。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓,，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號：SCSe124
可用機械臂：2
**基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多10
分配：12
手動型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案,。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過驗證,，擁有各種清潔技術,。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項，包括高壓DI水,，霧狀噴嘴,，刷子，Megasonic噴嘴等等,?？焖儆行У母稍锛夹g是結合了可變轉速和可選項加熱DI水，氮氣輔助或加熱燈,。SCSe126具有微處理控制器,，該控制器可調(diào)整過程參數(shù)，并儲存多達10個程序,。
功能：
可處理直徑高達10英寸的基板,。
主軸組件帶有直流無刷電機（可升級以獲得更多功能）。
可調(diào)節(jié)機械臂速度和行程位置,。
•徑向排氣腔,，可實現(xiàn)**層流。
•獨立式聚丙烯腔室,。
•微處理器可控制10個程序段,。
•內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
•按鈕蓋啟動打開/關閉,。
•觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯誤報告,。
•*多可使用4個機械臂,。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號：SCSe126
可用機械臂：4
**基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多10
分配：12
暫無數(shù)據(jù),！
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