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SPS-1000,，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺，設(shè)計靈活且易于使用,。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類,。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能,，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項,，我們的探針臺可用于廣泛的應(yīng)用,，例如故障分析，可靠性測試,，IV / CV測試,，低目前的測試，微波和射頻表征等等,。
使用MicroXact手動探針臺進(jìn)行IV,，CV和低電流測試，可提供半導(dǎo)體器件表征所需的精確和精確測量,。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性,，晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。
特征
手動平臺組裝可提供額外的預(yù)載滑塊,，便于裝載和卸載晶圓或樣品,。
手動控制壓板和卡盤Z位置，進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào),。
光滑的鑄鋼壓板可容納多達(dá)10個磁性或真空定位器,。
同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。
標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件,，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位,。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘,，用于探針的μm級定位
可用的高分辨率微定位器,，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位,。
可用的RF選項包括可定制的RF探頭,，RF卡盤和屏蔽罩。
型號 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圓尺寸 | 高達(dá)150mm | 高達(dá)100mm | 高達(dá)200mm |
XY舞臺行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm標(biāo)準(zhǔn) | 高達(dá)125mmx125mm | 高達(dá)200mmx200mm |
系統(tǒng)尺寸 | 56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高 | 92米寬x 122厘米深x 92厘米高 | |
系統(tǒng)重量 | 35kg至45kg,，具體取決于所選的選項 | ~70公斤 |
暫無數(shù)據(jù),！
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