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M6 Spin Coater可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片,，使用無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)馬達控制，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,，控制器可拆卸配合手套箱使用,，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用,。M6 Spin Coater外形美觀,，結(jié)構(gòu)緊湊，專為實驗室,，研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價比高的勻膠涂覆設(shè)備,。M6 Spin Coater在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域,。

二、技術(shù)參數(shù)

▲1.保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達進行氣流保護（可選擇取消）,；

2.支持Wafer尺寸：*小標配為10 mm,，可選配到3mm或5mm；**到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長5x5英寸（125x125mm）的方片,，無需更換片托,；

3.設(shè)備材質(zhì)：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，環(huán)保,，抗震,，耐腐蝕,；

▲4.無刷馬達：直流雙向旋轉(zhuǎn)，正反旋轉(zhuǎn)速度±100~±12000rpm,，穩(wěn)定性能誤差±1rpm,；

5.馬達安全模式：可設(shè)置非真空模式，轉(zhuǎn)速3000rpm,，加速度500rpm/s,；

6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S；

7.工藝時間：每步可以設(shè)定45小時,，精度不超過0.1秒,；

8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器；

9.程序段：可存儲99個程序段,，每個程序段可設(shè)置50個不同步驟的速度狀態(tài),；

10.無油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié),；

11.擴展功能：可升級預(yù)留端口,，可擴展自動滴膠裝置、自動去邊裝置,、手動去邊等選配項,。

三、設(shè)備性能特點

馬達控制：無刷直流雙向旋轉(zhuǎn),；

智能程控：控制器可拆卸,，4.3英寸寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆,，按鍵有提示音,，選中功能有顏色區(qū)分，適用于手套箱,；

腔體材質(zhì)：易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì),，抗腐蝕性；

模式切換：可自由切換單步模式,、多步模式和曲線分析圖,；

防止堵膠：雙真空腔設(shè)計；

預(yù)留端口：可升級擴展其他多種選配項,；

密碼功能：設(shè)有開機密碼和管理員密碼,，管理員有權(quán)限修改核心參數(shù)；

安全報警：系統(tǒng)蓋板嵌鎖,、真空異常,、通氣異常、系統(tǒng)進膠、馬達轉(zhuǎn)速異常均會報警,，通過聲音和界面對話框提示,；

氣流保護：旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消），易維護,，易清潔,，大幅提高馬達使用壽命；

四,、應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體芯片制造

• 鈣鈦礦太陽能電池制備

• 微納和微流控

• 納米薄膜

• 高分子材料

• 有機光伏

• 有機發(fā)光二極管

• 有機場效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管

• 石墨烯&二維材料