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光譜橢偏儀DUV-VIS-NIR

光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長范圍,。DUV范圍可用于測量超薄膜，如納米厚度范圍,。比如硅晶片上的原生氧化物,，其通常僅為約1至2nm厚。當(dāng)用戶需要測量許多材料的帶隙時(shí),，深紫外光譜橢偏儀也是必不可少的,。可見或近紅外范圍用于測量相對厚或非常厚的涂層,。當(dāng)然,，如果必須確定光學(xué)常數(shù)，則應(yīng)將工具的波長范圍配置為該范圍,。其他配置,，如波長分辨率，角度范圍等,，將根據(jù)所需的應(yīng)用進(jìn)行考慮,。

光譜橢偏儀特征：

•基于Window軟件，易于操作,；

•先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)zui佳系統(tǒng)性能；

•高功率DUV-VIS-NIR光源,，適用于寬帶應(yīng)用,；

•基于陣列的探測器系統(tǒng)，確?？焖贉y量,；

•用戶可以根據(jù)需要定義任意數(shù)量的圖層；

•能夠用于實(shí)時(shí)或在線厚度,，折射率監(jiān)測；

•系統(tǒng)配有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫,；

•高級TFProbe 3.3.X軟件允許用戶對每個(gè)膠片使用NK表,，色散或有效介質(zhì)近似（EMA）,；

•三種不同的用戶級別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務(wù)模式和簡易用戶模式,；

•靈活的工程模式,，適用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測試；

•強(qiáng)大的一鍵式按鈕解決方案,，用于快速和常規(guī)測量,；

•可按照用戶偏好配置測量參數(shù)，操作簡便,；

•系統(tǒng)全自動校準(zhǔn)和初始化,；

•直接從樣品信號獲得精確的樣品對齊接口，無需外部光學(xué)元件,；

•精確的高度和傾斜程度調(diào)整,；

•適用于許多不同類型的不同厚度的基材；

•各種選項(xiàng),，附件可用于特殊配置,，如繪圖階段，波長擴(kuò)展,，焦點(diǎn)等,；

•2D和3D輸出圖形以及用戶數(shù)據(jù)管理界面；

光譜橢偏儀應(yīng)用：

•半導(dǎo)體制造（PR,，氧化物,，氮化物......）

•液晶顯示器（ITO，PR,，Cell gap ......）

•法醫(yī)學(xué),，生物學(xué)材料

•油墨，礦物學(xué),，顏料,，調(diào)色劑

•制藥，醫(yī)療器械

•光學(xué)涂層,，TiO2,，SiO2，Ta2O5 ......

•半導(dǎo)體化合物

•MEMS / MOEMS中的功能薄膜

•無定形,，納米和硅晶圓

•太陽能電池薄膜,，CdTe，CdS,，CIGS,，AZO，CZTS ....

光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)：

其他型號：

紅外光譜橢偏儀TFProbe IRSE

光譜橢偏儀顯微分光光度計(jì) SE-MSP

光譜橢偏儀 SE-SOLAR太陽能光伏

光譜橢偏儀帶自動監(jiān)測 SE200BM，SE300BM和SE500BM

顯微分光光度計(jì)DUV-VIS-NIR MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500