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美國Laurell勻膠機650-15N
美國Laurell勻膠機650-15N

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勻膠機(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜

詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機,、旋涂儀,、涂膠機、鍍膜機,、涂層機

一,、產品概述:

勻膠機WS-650Mz-15NPPB適應于半導體、化工材料,、硅片,、晶片,、基片、導電玻璃等工藝,,制版的表面涂覆,。美國Laurell勻膠機具有穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,,這正是650S 型勻膠機的特點。

WS-650-15滿足,,**可達直徑305mm(12英寸)圓片或邊長229x229mm(9英寸)方片,;*小可達10 mm(可選配*小到3mm或5mm)涂敷。

MYCRO WS650系列旋轉涂膜儀的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,,其設置點精度小于0.006%,獲美國NIST激光測量標準認證,,無需校準,。

請根據(jù)您實際需要的大小和材質選擇相應的旋轉涂膜儀/旋涂儀訂購代碼:

WS-650系列旋轉涂膜儀:

MYCRO新近推出超強功能的新型控制器WS-650型旋轉涂膜儀,,在原有WS-400B

型基礎上,增加了電腦交互功能,,集成旋涂分析軟件SPIN 3000,,可以通過電腦實時分析和控制實驗結果!

NPP材質的6英寸旋轉涂膜儀,,MYCRO WS-650系列型號:

WS-650-23N

WS-650-23N-IND

WS-650-23N-OND

(均為NPP材質臺式,;8.5英寸216 毫米)直徑桶狀處理腔;WS-400B可以涂敷**直徑為6英寸150 毫米)或4英寸 X 4英寸102 X 102 毫米)的方形基底材料,;科研院所用的*理想的旋轉涂敷儀,;是銷量**的臺式系統(tǒng)旋轉涂膜儀

NPP材質8英寸,,MYCRO WS-650旋轉涂膜儀系列型號:

WS-650-8N

WS-650-8N-IND

WS-650-8N-OND

(旋轉涂膜儀為NPP材質內置式帶遠程控制器,;12.5英寸318 毫米)直徑桶狀處理腔;旋轉涂膜儀可以涂敷**直徑為8英寸200毫米)或7英寸 X 7英寸178 X 178 毫米)的方形基底材料,;這系列旋轉涂膜儀是銷量**的wet-bench型系統(tǒng)

NPP材質13英寸,MYCRO WS-400B旋轉涂膜儀系列型號:

WS-650-15N

WS-650-15N-IND

WS-650-15N-OND

(天然聚丙烯材質外置式帶遠程控制器,;直徑為14.5英寸370 毫米)半圓形處理腔,;可以涂敷**直徑為13英寸330 毫米)的基底材料;我們提供的**天然聚丙烯系統(tǒng))

MYCRO WS-650系列旋轉涂膜儀內的高精度數(shù)碼控制器:

可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段,;

每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài);

旋轉涂膜儀隨意任意時間范圍的加減速,,可重復性達到+/-0.5RPM,,分辨率小于0.5RPM;這一系列的旋轉涂膜儀上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)

可選配置:

IND構造為濕站系統(tǒng)設計,,帶遠程控制;

OND構造為手套箱系統(tǒng)設計,,帶遠程控制,;

UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,

EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,,機械裝置;

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