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勻膠機(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜 詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機,、旋涂儀,、涂膠機、鍍膜機,、涂層機 一,、產品概述: 勻膠機WS-650Mz-15NPPB適應于半導體、化工材料,、硅片,、晶片,、基片、導電玻璃等工藝,,制版的表面涂覆,。美國Laurell勻膠機具有穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,,這正是650S 型勻膠機的特點。 |
WS-650-15滿足,,**可達直徑305mm(12英寸)圓片或邊長229x229mm(9英寸)方片,;*小可達10 mm(可選配*小到3mm或5mm)涂敷。
MYCRO WS650系列旋轉涂膜儀的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器,,其設置點精度小于0.006%,獲美國NIST激光測量標準認證,,無需校準,。
請根據(jù)您實際需要的大小和材質選擇相應的旋轉涂膜儀/旋涂儀訂購代碼:
◆ WS-650系列旋轉涂膜儀:
MYCRO新近推出超強功能的新型控制器WS-650型旋轉涂膜儀,,在原有WS-400B
型基礎上,增加了電腦交互功能,,集成旋涂分析軟件SPIN 3000,,可以通過電腦實時分析和控制實驗結果!
NPP材質的6英寸旋轉涂膜儀,,MYCRO WS-650系列型號:
WS-650-23N
WS-650-23N-IND
WS-650-23N-OND
(均為NPP材質臺式,;8.5英寸(216 毫米)直徑桶狀處理腔;WS-400B可以涂敷**直徑為6英寸(150 毫米)或4英寸 X 4英寸(102 X 102 毫米)的方形基底材料,;科研院所用的*理想的旋轉涂敷儀,;是銷量**的臺式系統(tǒng)旋轉涂膜儀)
NPP材質8英寸,,MYCRO WS-650旋轉涂膜儀系列型號:
WS-650-8N
WS-650-8N-IND
WS-650-8N-OND
(旋轉涂膜儀為NPP材質內置式帶遠程控制器,;12.5英寸(318 毫米)直徑桶狀處理腔;旋轉涂膜儀可以涂敷**直徑為8英寸(200毫米)或7英寸 X 7英寸(178 X 178 毫米)的方形基底材料,;這系列旋轉涂膜儀是銷量**的wet-bench型系統(tǒng))
NPP材質13英寸,MYCRO WS-400B旋轉涂膜儀系列型號:
WS-650-15N
WS-650-15N-IND
WS-650-15N-OND
(天然聚丙烯材質外置式帶遠程控制器,;直徑為14.5英寸(370 毫米)半圓形處理腔,;可以涂敷**直徑為13英寸(330 毫米)的基底材料;我們提供的**天然聚丙烯系統(tǒng))
MYCRO WS-650系列旋轉涂膜儀內的高精度數(shù)碼控制器:
可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段,;
每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài);
旋轉涂膜儀隨意任意時間范圍的加減速,,可重復性達到+/-0.5RPM,,分辨率小于0.5RPM;這一系列的旋轉涂膜儀上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)
可選配置: IND構造為濕站系統(tǒng)設計,,帶遠程控制; OND構造為手套箱系統(tǒng)設計,,帶遠程控制,; UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,,機械裝置; |
暫無數(shù)據(jù),!