看了MDPinline晶圓片在線面掃檢測儀的用戶又看了
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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,,在不到一秒的時間內(nèi),,就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。
優(yōu)勢介紹:一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像,。
該儀器本身不使用機械運動部件,,因此在連續(xù)操作下也非常可靠,。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,,這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止無可比擬的,。例如,,在不到3個小時的時間內(nèi),對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統(tǒng)計評估,,結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質量的各種細節(jié),。
實時的質量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過程中,,MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障,,從而使產(chǎn)品達到的性能。
◆ 在不到一秒的時間內(nèi),,可對一個晶圓片進行全電特性測試,。測量參數(shù):載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描),。
◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn),。
◆適用于測量晶圓片的材料質量,以及識別晶圓片層面的結晶問題,,例如在光伏行業(yè)。
◆適用于擴散過程的完整性控制,、鈍化效率和均勻性控制,。
樣品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
樣品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18” |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
傳導類型 | p,, n |
材質 | 硅晶圓,,部分或完全加工的晶圓片,復合半導體等 |
測量性能 | 少數(shù)載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的) |
測量位置 | 默認2.8 mm,, 其它可選 |
檢測時間 | 獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm,,重量:29 kg |
電源 | 24 V DC, 4 A |
· 允許單片控制
· 參數(shù)自動設置,,預定義的排序菜單
· 多達15個質量等級的晶圓片自動分揀
· 監(jiān)控材料質量,、工藝的完整性和穩(wěn)定性
· 快速提升工藝和生產(chǎn)線
暫無數(shù)據(jù)!