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SUSS蘇斯光刻機用曝光燈HBO 200W/DC ，HBO 350W/S,，HBO 1000W/D,，HBO 5000W/S

詳細介紹

SUSS Micro Tecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導體和太陽能行業(yè)用光刻機，目前得到業(yè)界的廣泛認同,，該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈,，主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進行配套供應。歐司朗曝光燈系列,，具備良好的光通量,，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質的品質受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機配套的相關參數(shù)如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機型的曝光燈

燈管型號 壽命（H） 適用SUSS蘇期光刻機型

HBO 200W/DC 1000H MJB3， MJB4

HBO 350W/S 600H MA4,， MA6,， MA8， MA150,， MJB3,， MJB21，UV300/500

HBO 1000W/D 1000H MA150,，MA200,，MA4，MA6,， MA8

HBO 5000W/S 1000H MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術參數(shù),，適用于SUSS蘇斯光刻機型：

其它相關SUSS蘇斯設備業(yè)務也可以咨詢我們，合作愉快,，謝謝!