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瑞士Swisslitho 3D納米結構高速直寫機NanoFrazor
-源自IBM**研發(fā)成果
NanoFrazor納米3D結構直寫機的問世,,源于發(fā)明STM和AFM的IBM蘇黎世研發(fā)中心,是其在納米加工技術的**研究成果,。NanoFrazor納米3D結構直寫機**次將納米尺度下的3D結構直寫工藝快速化,、穩(wěn)定化。
NanoFrazor采用尖端直徑為5nm的探針,,通過靜電力精確控制實現(xiàn)直寫3D高精度直寫,,并通過懸臂一側(cè)的熱傳感器實現(xiàn)實時的形貌探測。相對于其他制備技術如電子束曝光/光刻技術(EBL),, 聚焦離子束刻蝕(FIB)有以下特點:
■ 3D納米直寫能力
高直寫精度 (XY: 10nm,, Z: 1nm)
高速直寫 20 mm/s 與EBL媲美
■ 無需顯影,實時觀察直寫效果
形貌感知靈敏度0.1nm
樣品無需標記識別,,多結構套刻,,對準精度 5nm
■ 無臨近效應
高分辨,高密度納米結構
■ 無電子/離子損傷
高性能二維材料器件
■ 區(qū)域熱加工和化學反應
多元化納米結構改性
■ 大樣品臺
100mm X 100mm
新產(chǎn)品發(fā)布:NEW!,! NanoFrazor Scholar --小面積直寫
■ 3D納米直寫能力
高直寫精度 (XY: 30nm,, Z: 1nm)
高速直寫 10 mm/s
■ 無需顯影,實時觀察直寫效果
形貌感知靈敏度0.1nm
樣品無需標記識別,,多結構套刻,,對準精度 10 nm
■ 無臨近效應
高分辨,高密度納米結構
■ 無電子/離子損傷
高性能二維材料器件
■ 區(qū)域熱加工和化學反應
多元化納米結構改性
■ 小樣品臺
30mm X 30mm
該技術自問世以來已經(jīng)多次刷新了世界上*小3D立體結構的尺寸,,創(chuàng)造了世界上*小的馬特洪峰模型,,*小立體世界地圖,*小刊物封面等世界記錄,。
獨特的直寫與反饋流程
,。PPA(聚苯二醛) 直寫膠涂敷在樣品表面。
,。背熱式直寫探針,,微區(qū)電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解,,周圍部分由于PPA熱導率低而不受影響,。
。熱針震動模式直寫,,直寫時探針加熱,,每次下針幅度受靜電力控制,垂直精度 1 nm,,從而寫出3D圖形,。
。冷針接觸模式掃描,,回程掃描時探針冷卻,,由側(cè)壁的熱感應器探測樣品高度變化(精度0.1nm), 獲得樣品形貌,。反饋數(shù)據(jù)修正下一行直寫。
獨有的直寫針尖設計
普通的AFM針尖無法滿足上述NanoFrazor直寫流程的需求,,因此NanoFrazor所用針尖是由IBM專門研發(fā)設計的,。該針尖具有兩個電阻加熱區(qū)域,針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000oC,。 第二處加熱區(qū)域作為熱導率傳感器位于側(cè)臂處,,其能感知針尖與樣品距離的變化,精度高達0.1 nm,。因此在每行直寫進程結束后的回掃結構時,,并不是通過針尖 起伏反饋形貌信息,而是通過熱導率傳感器感應形貌變化,從而實現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度,,同避免了針尖的快速磨損消耗,。
NanoFrazor技術特點
其他功能
● 納米顆粒有序定位排列
● 納米局部化學反應誘導
● 表面化學圖案、結構生成納米顆粒有序定位排列
氧化石墨烯的定位還原
暫無數(shù)據(jù),!