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日本JEOL電子束光刻機(jī)JBX-9500FS　

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),，兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度,，**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版，適合納米壓印,、光子器件,、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

產(chǎn)品規(guī)格：

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng)，兼具世界**水平的產(chǎn)出量和定位精度,，**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,，適合納米壓印、光子器件,、通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn),。

· 此外,，由于具有100MHz的*快掃描速度，場(chǎng)尺寸在1000μm×1000μm時(shí)的套刻精度達(dá)到±11nm,、場(chǎng)拼接精度為±10nm,、寫場(chǎng)內(nèi)位置精度達(dá)±9nm，是兼具世界**水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng),。

· 由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位,，掃描DAC為14位，能獲得0.25nm的掃描步距,，分辨率更高,，描畫數(shù)據(jù)增長(zhǎng)1nm，可以更忠實(shí)地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù),。

· *快達(dá)到100ＭＨｚ的高速化掃描速度,，保證了大電流描畫時(shí)的掃描步距很短，因而能提高對(duì)精度要求極高的圖形描畫的產(chǎn)出量,。

· 由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的*小定位單位及高分辨率,，達(dá)到了世界**水準(zhǔn)的位置精度。

· 本公司獨(dú)自的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能),，實(shí)現(xiàn)了可信賴的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地描畫,。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間（任意的）、場(chǎng)和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,，非常適合于周末及休假等無(wú)人值守等情況下的長(zhǎng)時(shí)間描畫,。

· 該系統(tǒng)**能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版，適合于納米壓印,、光子器件,、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)（選配）,，*多可裝載10個(gè)卡匣,。

· 利用微間距控制程序（場(chǎng)尺寸微調(diào)程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。