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瑞士Sawatec 勻膠機(jī)SM-150：手動涂膠的**選擇

勻膠機(jī) SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的**選擇，適用于表面沒有或有非常矮形貌的基板涂膠作業(yè),。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸**為 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上,。工藝腔設(shè)計(jì)可滿足**直徑為 176mm。

SM系列的優(yōu)點(diǎn)在于,，具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性,，并且操作簡單、使用舒適,。為了使花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力*小化,，SAWATEC 公司開發(fā)了一種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后,，可以簡單地移除和清理這種保護(hù) 碗,。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì),，也可以將維護(hù)成本*小化。因此,，SAWATEC勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室,，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所,。

功能（基本配置）

,。可編程,，*多 50 個程序(各包含 24 個程序段)

,。適用于重復(fù)工藝的快速啟動功能

。觸摸屏面板控制,，方便用戶程序配置工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速,、加速度、工藝時間旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時針,、逆時針)

,。手動裝卸基板

。通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定

,。手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)工藝結(jié)束時的聲音信號

性能數(shù)據(jù)

,。速范圍：0 到 10，000rpm +/-1rpm

,。轉(zhuǎn)速加速度：0–8,，000rpm 為0.8秒/0–10，000rpm為1秒 1)

,。減速度：10,，000rpm-0 為2.5秒/8，000rpm-0 為0.8秒 1)

,。工藝時間*長為 2376 s

,。每個程序段的給膠時間為 99 s

附加功能（可選項(xiàng)）

。半自動的管式給膠系統(tǒng),，帶有手動給膠手臂和回吸功能的

,。工藝腔的手動氮?dú)鈨艋b置

。用于簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(guān)(電纜長度 1.8m)

,。經(jīng)陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

,。鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗用于 SM-150 勻膠機(jī)的真空泵

。晶圓定位器 2”–6”(圓形)

旋轉(zhuǎn)卡盤分類

為了達(dá)成**涂覆效果,，我們提供了不同尺寸,、材料和設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)卡盤。根據(jù)用途的不同,，可使用單塊結(jié)構(gòu)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)卡盤,。為避免基板背面被弄臟,，有時不僅要選擇**的旋轉(zhuǎn)卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設(shè)計(jì),。旋轉(zhuǎn)卡盤的更換過程非常簡單,，不需要使用工具。

,。真空卡盤小片

,。真空卡盤 1” 3”(圓形)

。真空卡盤 100mm(4”) 150mm(6”)

,。真空卡盤 100x100mm(4”x4”) 真空卡盤 125x125mm(5”x5”) 其他卡盤需咨詢

設(shè)計(jì)和尺寸

,。桌上式版本 SM -150-BT，

,。內(nèi)嵌式版本 SM-150-BM

,。緊湊且節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)形式

。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗,，確保了高材料兼容性

,。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環(huán)，確保無光刻膠濺出,。透明蓋板：玻璃制成

,。具有 3.5” 彩色顯示屏的觸摸屏面板

。高精度,，高動態(tài)的交流伺服電機(jī)

,。經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼

。外殼(BT): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高）

,。重量(BT): 約 29kg

,。安裝模塊(BM): 300 x 300 x 368mm (長 x 寬 x

。安裝面板 320 x 166 x 50mm ( 長 x 寬 x

,。重量(BM): 約 20kg

接口

,。230 VAC 50/60Hz 10A

。腳踏開關(guān)用插頭接口

,。技術(shù)真空，軟管 ?6/4mm(-0.8bar)

,。壓縮空氣或氮?dú)廛浌?6/4mm(3bar) (僅限于和給膠系統(tǒng)配合使用)

,。排放接口 ?12mm

。BT 廢氣接口 ?38mm(20–50m3/h) BM 廢氣接口 ?25mm(20–50m3/h)