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美TED PELLA 108AUTO 自動離子濺射儀 sputter coater
108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜,。
主要特性
· 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚,，和zui佳的導(dǎo)電噴鍍效果,。
· 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損,。
· 操作容易快捷,，可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制,。
· 在自動模式下,，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,，
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程,。
· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,，可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材：Au,，Au/Pd,，，Pt,，,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配）,，靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù) | |
樣品室大小 | 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配,，Au:Pd,， Pt， Pt:Pd （選件）;大?。褐睆?7mmx 0.1mm厚 |
樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座,，高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖,，可調(diào),，zui大電流40mA，程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,，靶材更換快速,，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
模擬計量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程 |
控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能,，自動處理排序,，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s）,，自動放氣 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上,，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
暫無數(shù)據(jù)！
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