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德國Diener研究型等離子清洗機Bell Jar 35
Bell Jar 35 等離子設備是一種研究設備,，其專為科學試驗所研發(fā)。該設備即適用于熱蒸發(fā),，濺射 ,，電子束蒸發(fā)，SEM（掃描電子顯微鏡）樣品制備的金屬涂層,，也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝,。
基本設備
。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm
,。腔室容積：約35升
,。供電電源：230V/16A
氣源
。3個質(zhì)量流量控制器（MFCs）
真空腔室
,。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩,，直徑315MMx高500MM
濺射源
。1個濺射源2"-3"+擋板（可為反應過程選配排煙管和進氣口）
基材支架
,。直徑140MM（可選擇旋轉(zhuǎn)型,，基材加熱器，基材冷卻裝置）
,?？汕袚Q為等離子預處現(xiàn)的電極（清洗，活化,，蝕刻）
控制系統(tǒng)
,。PCCE控制系統(tǒng)（Microsoft Windows XPe）
壓力測量
。Pirani
發(fā)生器
,。頻率：40KHz,， 功率 0-500W
13.56MHz,， 功率 0-300W
。直流偏置電源或單極性脈沖,，**功率300W,，**電壓600V，直流電
,。發(fā)生器為 0-100% 無級可調(diào)型
真空泵
,。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
其它選項
備件套件，壓力計,，腐蝕性氣體設計結(jié)構(gòu),，氣瓶，減壓器,，加熱板,，溫度顯示器，加熱型腔室,，F(xiàn)araday Box,， 等離子體聚合配件，試墨水,，氧氣發(fā)生器,，慢速通風裝置，慢速抽吸裝置,，TEM樣品架法蘭,，維護/服務,，當?shù)卣Z言的文件,，現(xiàn)場安裝，包括培訓,，可應需求提供的其它選項,。
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