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德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)Zepto,，Atto，F(xiàn)emto,，Pico,，Nano，PlasmaBeam

德國(guó)Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì),、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司,， 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場(chǎng)和技術(shù)**者。Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz ,、80KHz,、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用***技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī),。

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗,、刻蝕、灰化,、涂鍍和表面處理,。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED,、太陽(yáng)能光伏,、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研,、半導(dǎo)體封裝,、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域,。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的**質(zhì)產(chǎn)品,，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。

德國(guó)diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

等離子清洗機(jī)清洗效果好,，效率高,，應(yīng)用范圍廣。

對(duì)清洗樣品,，沒(méi)有任何材質(zhì),、外觀尺寸等要求

等離子清洗過(guò)程中，溫升很小,，基本可達(dá)到常溫處理,。

射頻功率無(wú)極連續(xù)可調(diào)。

高效的特制電極,，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證,。

特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間,，使處理效率**化,，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

特有的過(guò)載,、短路和過(guò)熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全,。

設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì),，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單。

德國(guó)diener等離子表面處理設(shè)備多種系列：

Diener等離子表面處理設(shè)備 PICO PCCE 全自動(dòng)

主要技術(shù)參數(shù)：

• *全自動(dòng)PCCE控制系統(tǒng),，可存儲(chǔ)50套程序,。

• *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定真空泵啟動(dòng)與停止,、發(fā)生器的功率,、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)

• 雙路工作氣體,，MFC質(zhì)量流量計(jì)

• *反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm,， h: 160 mm， d: 325 mm帶有鉸鏈門,，門帶有觀察窗,。

• *發(fā)生器100 kHz， 0 – 500 W連續(xù)可調(diào)，反射波自動(dòng)調(diào)節(jié),。

• 電極材質(zhì)為鋁制,。

• 真空泵抽氣能力8m3/h

• *配有壓力傳感器，實(shí)時(shí)顯示壓力值

• 電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A

配置清單：

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