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Harrick 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)PDC-002

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

Harrick Plasma是國(guó)際一流的等離子清洗器生產(chǎn)商,，在業(yè)內(nèi)已經(jīng)有三十多年的經(jīng)驗(yàn),。他所生產(chǎn)的小型等離子清洗器結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量可靠,、價(jià)格合理,；廣泛地被大中院校、科研機(jī)構(gòu),、企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室采用,。其產(chǎn)品主要應(yīng)用在材料科學(xué)、高分子科學(xué),、生物醫(yī)藥材料學(xué),、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究,、光學(xué),、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除,、表面活化,、粘合前處理、表面化學(xué)改性,、聚合物移植或表面涂覆等方面,。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料,、PDMS,、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷,、復(fù)合材料,、高分子聚合物等材料，并對(duì)所處理的材料表面帶來(lái)表面超潔凈,、殺菌,、提高濕潤(rùn)性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變,、提高結(jié)合力等處理效果,。

基本參數(shù)：

主要特征：

臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊精致

低,、中,、高三檔可調(diào)節(jié)功率，**可為30W

設(shè)備輻射小，安全環(huán)保

· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

· 重量：20.0kg

· 輸入電源：220 V / 50Hz

· 輸入功率：200 W

· 功率檔：

低檔716V DC,、10mA DC,、7.16W

中檔720V DC、15mA DC,、10.15W

高檔740V DC,、40mA DC、29.6W

· 常用工作氣體：

空氣,、氬氣,、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等

· 基本配置：

直徑6英寸，長(zhǎng)6.5英寸的耐熱玻璃艙體,。

可拆卸艙蓋,。

含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。

**為30W的RF線圈,。

1/8英寸NPT針閥

1/8英寸NPT三通閥

· 選配件：

石英等離子清洗艙

石英托盤（用于放置樣品）

氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM

· 周邊設(shè)備：

基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

· 選件一：氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡(jiǎn)介：

1,、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性,。

2,、在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。

3,、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能,。

4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)

5,、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力

6、適用氣體：空氣,、氮?dú)?、氬氣或混合氣體。

7,、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D

8,、訂貨號(hào)：PDC-FMG-2

· 選件二：真空泵

Harrick等離子清洗需要使用*小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵,。

PDC-VP-2 (220V)

抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr

極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān))：1.5 mTorr

極限壓力(氣鎮(zhèn)開(kāi))：23 mTorr

電機(jī)功率：(50/60 Hz): 250/300 W

重量: 34 lbs

尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

· 選件三：石英等離子清洗艙及托盤