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NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計(jì)量型設(shè)備,。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表,，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，彌補(bǔ)兩種模式的局限,，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限,。光學(xué)非接觸式有速度快，直接三維成象,，不破壞樣品等特點(diǎn),。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單,，測量材料廣泛,。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀,、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究,。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料,、聚合物材料,、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度,，二維粗糙度（Ra,，Rq，Rmax...）,，三維粗糙度（Sa,，Sq，Smax）,，劃痕截面面積,，劃痕體積，磨損面積,，磨損體積,，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量,。擺脫了以往只能得到二維信息,，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測量的新時(shí)代,。

測量表面可以覆蓋90%以上材料表面,。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好,，材料應(yīng)用面廣,。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學(xué)科,、跨領(lǐng)域的各種樣品表面,，包括透明、金屬材料,，半透明,、高漫反射，低反射率,、拋光,、粗糙材料(金屬、玻璃,、木頭、合成材料,、光學(xué)材料,、塑料、涂層,、涂料、漆,、紙,、皮膚,、頭發(fā),、牙齒…),；

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖,， 輪廓線等

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量

6、微電子表面分析和MEMS表征

輪廓儀的主要特點(diǎn)：

高精度

**的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式),；2 nm（光學(xué)非接觸式）

對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性

沒有機(jī)械過濾

寬闊的垂直測量范圍

多種選擇光學(xué)頭及接觸式

圖像;縫合;技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

透明,，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料

垂直臺階,，高寬深比，隆起,，孔洞

脆性的材料，軟材料,，柔性材料表面

尖銳的,，堅(jiān)硬的，磨損的表面

適應(yīng)性強(qiáng)

白光光源,，人體安全設(shè)計(jì),，長壽命白光LED 免維護(hù),。可以用于各種環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。

接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,，三維掃描范圍從10um X 10um到500um X 500um,。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm,。

在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時(shí)擁有寬闊測量動(dòng)態(tài)范圍

君子蘭葉子表面

城市綠化帶灌木葉子表面