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該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術(shù),，并與壓電陶瓷（PZT）掃描**結(jié)合，可以再不喪失精度的情況下,，即得到超大樣品整體三維輪廓圖,，又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺,，有效解決了以往樣品臺掃面,，由于絲杠公差引起的測試結(jié)果有亞微米量級的誤差。
三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料,、生物材料,、聚合物材料,、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度,，二維粗糙度（Ra,，Rq，Rmax...）,，三維粗糙度（Sa,，Sq，Smax）,，劃痕截面面積,，劃痕體積，磨損面積,，磨損體積,，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量,。擺脫了以往只能得到二維信息,，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代,。
主要特點：
1,、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的**結(jié)合
2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描）,，即使在長程測量時也可以得到**化的小區(qū)域三維測圖
3,、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm,。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm,。
4、在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
5,、針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （*?。?１nm ）
6,、軟件設(shè)置恒定微力接觸
7、簡單的2步關(guān)鍵操作,，友好的軟件操作界面
暫無數(shù)據(jù),！
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