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NanoMap-D雙模式掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款測(cè)量計(jì)量型設(shè)備,。既可以

用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,， 輪廓線等

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量

5、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量

6、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點(diǎn)：

包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式

高精度

· **的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式),；2 nm（光學(xué)非接觸式）

· 對(duì)周?chē)h(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性

· 沒(méi)有機(jī)械過(guò)濾

寬闊的垂直測(cè)量范圍

· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式

· 縱向掃描范圍 300 to 3900 µm

· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

· 透明,，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料

· 垂直臺(tái)階,，高寬深比,，隆起,，孔洞

· 脆性的材料,，軟材料,，柔性材料表面

· 尖銳的，堅(jiān)硬的,，磨損的表面

適應(yīng)性強(qiáng)

· 白光光源,，人體安全設(shè)計(jì)，長(zhǎng)壽命白光LED 免維護(hù),?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。

· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到150mm,。

· 在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察

· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級(jí)垂直分辨率　（*?。?１nm ）

· 軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])