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三維輪廓儀NanoMap-D

NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款測(cè)量計(jì)量型設(shè)備。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè),。 該款儀器可以看做是表面研究的萬(wàn)用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計(jì)特點(diǎn),，彌補(bǔ)兩種模式的局限,，發(fā)揮表面形貌儀的測(cè)量極限。光學(xué)非接觸式有速度快,，直接三維成象,，不破壞樣品等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷,，制樣簡(jiǎn)單,，測(cè)量材料廣泛。兩種模式相結(jié)合可以對(duì)更多形狀,、性狀,、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究。

該輪廓儀測(cè)量表面可以覆蓋90%以上材料表面,。設(shè)備傳感器精度高,，穩(wěn)定性好，材料應(yīng)用面廣,。熱噪聲是同類(lèi)產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm ( phase-shift mode) 可測(cè)跨學(xué)科,、跨領(lǐng)域的各種樣品表面,，包括透明,、金屬材料，半透明,、高漫反射,，低反射率、拋光,、粗糙材料(金屬,、玻璃、木頭,、合成材料,、光學(xué)材料、塑料,、涂層,、涂料、漆,、紙,、皮膚、頭發(fā),、牙齒等),；

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖， 輪廓線(xiàn)等

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量

6,、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點(diǎn)：

高精度

**的縱向分辨率：0.1 nm (接觸式)；0.01nm（光學(xué)非接觸式）

對(duì)周?chē)h(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性強(qiáng)

寬闊的垂直測(cè)量范圍

多種選擇光學(xué)頭及接觸式

縱向掃描范圍 20um to 10mm

圖像；縫合技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

透明,，不透明,，反射光強(qiáng)等多種材料

垂直臺(tái)階，高寬深比,，隆起,，孔洞

脆性的材料，軟材料,，柔性材料表面

尖銳的,，堅(jiān)硬的，磨損的表面

適應(yīng)性強(qiáng)

白光光源,，人體安全設(shè)計(jì),，長(zhǎng)壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。

接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,，三維掃描范圍從10umX10um 到500um X500um,。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。

在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍

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XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100,，200,，250，500),；α-step P6,；α-step P16+(P1，P2,，P10,，P11，P11,，P15),；α-step P16+0F； KLA-Tencor

光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀/ 移相干涉儀),；MicroXam 100,；MicroXam 1200