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三維輪廓儀NanoMap-D
NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備。既可以用于科學研究,,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表,采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計特點,,彌補兩種模式的局限,,發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快,,直接三維成象,,不破壞樣品等特點,。探針接觸模式方便快捷,制樣簡單,,測量材料廣泛,。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀,、材質(zhì)的試樣進行表面形貌的研究,。
該輪廓儀測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高,,穩(wěn)定性好,,材料應用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的,。垂直分辨率可達0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學科,、跨領(lǐng)域的各種樣品表面,包括透明,、金屬材料,,半透明、高漫反射,,低反射率,、拋光、粗糙材料(金屬,、玻璃,、木頭、合成材料,、光學材料,、塑料、涂層,、涂料,、漆、紙,、皮膚,、頭發(fā)、牙齒等),;
1,、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,,晶粒分析等
2,、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,,格子圖,, 輪廓線等
3、表界面測量:透明表面形貌,,薄膜厚度,,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量
5,、劃痕形貌,,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量
6,、微電子表面分析和MEMS表征
主要特點:
高精度
**的縱向分辨率:0.1 nm (接觸式),;0.01nm(光學非接觸式)
對周圍環(huán)境和光源的強適應性強
寬闊的垂直測量范圍
多種選擇光學頭及接觸式
縱向掃描范圍 20um to 10mm
圖像;縫合技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
透明,,不透明,,反射光強等多種材料
垂直臺階,高寬深比,,隆起,,孔洞
脆性的材料,軟材料,,柔性材料表面
尖銳的,,堅硬的,磨損的表面
適應性強
白光光源,,人體安全設(shè)計,,長壽命白光LED 免維護??梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室,,甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合
接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,,三維掃描范圍從10umX10um 到500um X500um,。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
在掃描過程中結(jié)合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
針尖掃描采用雙光學傳感器,,同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍
電話:+86-010-68187909
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XP-1/XP-2,;XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300;α-step IQ(100,,200,,250,500),;α-step P6,;α-step P16+(P1,P2,,P10,,P11,P11,,P15),;α-step P16+0F; KLA-Tencor
光學輪廓儀(白光干涉儀/ 移相干涉儀),;MicroXam 100,;MicroXam 1200
暫無數(shù)據(jù)!