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臺(tái)階儀,，
NanoMap-LS
接觸式三維表面臺(tái)階儀NanoMap-LS
特點(diǎn)
探針臺(tái)階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),，整合數(shù)據(jù)得到臺(tái)階高度,，表面形貌,，溝槽深度等特征。
雙模式操作（針尖掃描和樣品臺(tái)掃描）,，即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到**化的小區(qū)域三維測(cè)圖
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,，三維掃描范圍從150mm X 150m 。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm,。
接觸式探針臺(tái)階儀在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察
針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級(jí)垂直分辨率 （*?。?１nm ）
軟件設(shè)置恒定微力接觸
簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作,，友好的軟件操作界面、
應(yīng)用
臺(tái)階儀主要應(yīng)用在金屬材料,、生物材料,、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra,，Rq,，Rmax...），三維粗糙度（Sa,，Sq,，Smax），劃痕截面面積,，劃痕體積,，磨損面積，磨損體積,，磨損深度,，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息,，或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀,。將臺(tái)階儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。
三維表面輪廓測(cè)量和粗糙度測(cè)量,，即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件,。
薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量
劃痕形貌，磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量
空間分析和表面紋理表征
平面度和曲率測(cè)量
二維薄膜應(yīng)力測(cè)量
微電子表面分析和MEMS表征
表面質(zhì)量和缺陷檢測(cè)
環(huán)境要求
濕度：10-80%,， 相對(duì)濕度，無(wú)冷凝
溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時(shí)）
電源要求：110/240V,，50/60 Hz
技術(shù)規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)樣品 臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣品（NIST認(rèn)證） 100um
系統(tǒng) 光學(xué)照相機(jī)視場(chǎng)范圍 1.5 X 1.5mm
光學(xué)照明 軟件控制暗場(chǎng)和亮場(chǎng)
電腦 Pentium IV,， USB2.0聯(lián)接
操作系統(tǒng) Win XP
系統(tǒng)動(dòng)力需求 90-240V,，350W
空間尺寸 20寬X 22長(zhǎng) X 25高
重量 160lb
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