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臺(tái)階儀
臺(tái)階儀

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臺(tái)階儀,,

NanoMap-LS

接觸式三維表面臺(tái)階儀NanoMap-LS

NanoMap -LS探針接觸式 臺(tái)階儀

特點(diǎn)

探針臺(tái)階儀是利用探針掃描樣品表面,儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),,整合數(shù)據(jù)得到臺(tái)階高度,,表面形貌,,溝槽深度等特征。

雙模式操作(針尖掃描和樣品臺(tái)掃描),,即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到**化的小區(qū)域三維測(cè)圖

針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,,三維掃描范圍從150mm X 150m 。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm,。

接觸式探針臺(tái)階儀在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,,擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(**至500μm)及亞納米級(jí)垂直分辨率 (*?。?1nm )

軟件設(shè)置恒定微力接觸

簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作,,友好的軟件操作界面、

應(yīng)用

臺(tái)階儀主要應(yīng)用在金屬材料,、生物材料,、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,,臺(tái)階高度,二維粗糙度(Ra,,Rq,,Rmax...),三維粗糙度(Sa,,Sq,,Smax),劃痕截面面積,,劃痕體積,,磨損面積,磨損體積,,磨損深度,,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息,,或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀,。將臺(tái)階儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。

三維表面輪廓測(cè)量和粗糙度測(cè)量,,即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件,。

薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量

劃痕形貌,磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量

空間分析和表面紋理表征

平面度和曲率測(cè)量

二維薄膜應(yīng)力測(cè)量

微電子表面分析和MEMS表征

表面質(zhì)量和缺陷檢測(cè)

環(huán)境要求

濕度:10-80%,, 相對(duì)濕度,無(wú)冷凝

溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時(shí))

電源要求:110/240V,,50/60 Hz

技術(shù)規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)樣品 臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣品(NIST認(rèn)證) 100um

系統(tǒng) 光學(xué)照相機(jī)視場(chǎng)范圍 1.5 X 1.5mm

光學(xué)照明 軟件控制暗場(chǎng)和亮場(chǎng)

電腦 Pentium IV,, USB2.0聯(lián)接

操作系統(tǒng) Win XP

系統(tǒng)動(dòng)力需求 90-240V,,350W

空間尺寸 20寬X 22長(zhǎng) X 25高

重量 160lb

keyword:臺(tái)階儀、形貌儀,、磨損體積測(cè)量?jī)x,、臺(tái)階儀、薄膜測(cè)厚儀,、三維表面臺(tái)階儀,、三維臺(tái)階儀、白光干涉儀,、三維臺(tái)階儀,、三維薄膜分析儀、三維形貌儀,、三維粗糙度儀,、表面臺(tái)階儀

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