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臺階儀,,
NanoMap-LS
接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LS
特點
探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面,儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),,整合數(shù)據(jù)得到臺階高度,,表面形貌,溝槽深度等特征,。
雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描),,即使在長程測量時也可以得到**化的小區(qū)域三維測圖
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,三維掃描范圍從150mm X 150m ,。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm,。
接觸式探針臺階儀在掃描過程中結(jié)合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
針尖掃描采用雙光學傳感器,擁有寬闊測量動態(tài)范圍(**至500μm)及亞納米級垂直分辨率?。??。?1nm )
軟件設置恒定微力接觸
簡單的2步關鍵操作,友好的軟件操作界面,、
應用
臺階儀主要應用在金屬材料,、生物材料、聚合物材料,、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,,臺階高度,,二維粗糙度(Ra,Rq,,Rmax...),,三維粗糙度(Sa,Sq,,Smax),,劃痕截面面積,劃痕體積,,磨損面積,,磨損體積,磨損深度,,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量,。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀,。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代,。
三維表面輪廓測量和粗糙度測量,即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機加工零件,。
薄膜和厚膜的臺階高度測量
劃痕形貌,,磨損深度,、寬度和體積定量測量
空間分析和表面紋理表征
平面度和曲率測量
二維薄膜應力測量
微電子表面分析和MEMS表征
表面質(zhì)量和缺陷檢測
環(huán)境要求
濕度:10-80%,, 相對濕度,無冷凝
溫度:65-85 華氏度(△T<1度/小時)
電源要求:110/240V,,50/60 Hz
技術(shù)規(guī)格 標準樣品 臺階高度標準樣品(NIST認證) 100um
系統(tǒng) 光學照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm
光學照明 軟件控制暗場和亮場
電腦 Pentium IV,, USB2.0聯(lián)接
操作系統(tǒng) Win XP
系統(tǒng)動力需求 90-240V,350W
空間尺寸 20寬X 22長 X 25高
重量 160lb
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暫無數(shù)據(jù),!