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臺階儀，
NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀
特點 ：
探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面,，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài),，整合數(shù)據(jù)得到臺階高度，表面形貌,，溝槽深度等特征,。
雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描)
針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，
三維掃描范圍從150mm X 150m
樣品臺掃描掃描范圍到100mm
納米級拋光光學參考平晶
實時彩色光學照相機直接觀測
雙光學傳感器 縱向測量范圍**至1000um,，*小到分辨率0.1nm
恒定微力接觸 *小0.03mg
簡單友好的人機操作界面
應用
臺階儀主要應用在金屬材料,、生物材料、聚合物材料,、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,，臺階高度，二維粗糙度（Ra,，Rq,，Rmax...），三維粗糙度（Sa,，Sq,，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積,，磨損面積,，磨損體積，磨損深度,，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量,。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀,。
三維表面輪廓測量和粗糙度測量,，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。
薄膜和厚膜的臺階高度測量
劃痕形貌,，磨損深度,、寬度和體積定量測量
空間分析和表面紋理表征
平面度和曲率測量
二維薄膜應力測量
微電子表面分析和MEMS表征
表面質量和缺陷檢測
環(huán)境要求
濕度：10-80%,， 相對濕度,，無冷凝
溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）
電源要求：110/240V，50/60 Hz
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暫無數(shù)據(jù),！
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