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儀器簡介：

NanoMap-D雙模式掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備,。既可以

用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖， 輪廓線等

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量

6,、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點：

包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式

高精度

· **的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學(xué)非接觸式）

· 對周圍環(huán)境和光源的強適應(yīng)性

· 沒有機械過濾

寬闊的垂直測量范圍

· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式

· 縱向掃描范圍 300 to 3900 µm

· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

· 透明,，不透明,，反射光強等多種材料

· 垂直臺階，高寬深比,，隆起,，孔洞

· 脆性的材料，軟材料,，柔性材料表面

· 尖銳的,，堅硬的，磨損的表面

適應(yīng)性強

· 白光光源,，人體安全設(shè)計,，長壽命白光LED 免維護,?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。

· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到150mm,。

· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機可對樣品直接觀察

· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（*?。?１nm ）

· 軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])