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透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口
透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口

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美國

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上海納騰儀器有限公司

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SHNTI的X-射線薄膜窗能夠?qū)崿F(xiàn)軟X-射線(如真空紫外線)的**透射率,。主要用于同步輻射X射線透射顯微成像時承載樣品。 X-射線越軟(能量越低),,穿透能力越差,,所需氮化硅薄膜窗越薄。特別在“離軸”狀態(tài)工作(即薄膜與光束成一定角度)時,,也需要較薄的薄膜窗口,,便于X射線更好地穿透。

SHNTI提供的氮化硅薄膜窗口是利用現(xiàn)代MEMS技術(shù)制備而成,,由于此種氮化硅窗口選用低應(yīng)力氮化硅(0-250MP)薄膜,,因此比計量式和ST氮化硅薄膜更堅固耐用。SHNTI提供的氮化硅薄膜窗口非常適合應(yīng)用于透射成像和透射能譜等廣泛的科學(xué)研究領(lǐng)域,,例如,,X-射線(上海光源透射成像/能譜線站),、TEM、SEM,、IR,、UV等。

現(xiàn)在SHNTI可以提供X-射線顯微成像/能譜(同步輻射)用氮化硅薄膜窗系列產(chǎn)品,,規(guī)格如下:

外框尺寸 (4種標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格):

5 mm x 5 mm (窗口尺寸:1.0 mm 或和 1.5 mm 方形)

7.5 mm x 7.5 mm (窗口尺寸:2.0 mm 或 2.5 mm)

10 mm x 10 mm (窗口尺寸:3.0 mm 或 5 mm 方形)

邊框厚度: 200μm,、381μm、525μm,。

Si3N4薄膜厚度:50,、100、150和200nm

SHNTI也可以為用戶定制產(chǎn)品(30-500nm),,但要100片起訂,。

本產(chǎn)品為一次性產(chǎn)品,SHNTI不建議用戶重復(fù)使用,,本產(chǎn)品不能進行超聲清洗,,適合化學(xué)清洗、輝光放電和等離子體清洗,。

與X射線用氮化硅窗口類似,,透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口也使用低應(yīng)力氮化硅薄膜基底。但整體尺度更小,,適合TEM裝樣的要求,。窗口有單窗口和多窗口陣列等不同規(guī)格。同時SHNTI也定制多孔氮化硅薄膜窗口,。

現(xiàn)在SHNTI可以提供透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗系列產(chǎn)品,,規(guī)格如下:

外框尺寸:

3 mm x 3 mm (窗口尺寸:0.5 mm,,薄膜厚度:50 nm) 3 mm x 3 mm (窗口尺寸:1.0 mm,,薄膜厚度:50 nm) 3 mm x 3 mm (窗口尺寸:1.0 mm,薄膜厚度:100 nm) 邊框厚度: 200μm,、381μm,。

Si3N4薄膜厚度: 50nm、100nm

SHNTI也可以為用戶定制產(chǎn)品(30-200nm),,但要100片起訂,。

本產(chǎn)品為一次性產(chǎn)品,SHNTI不建議用戶重復(fù)使用,,本產(chǎn)品不能進行超聲清洗,,適合化學(xué)清洗、輝光放電和等離子體清洗,。

技術(shù)指標(biāo):

表面平整度:

我們認為薄膜與其下的硅片同樣平整,, TEM用氮化硅薄膜窗口的表面粗糙度為:0.6-2nm,。完全適用于TEM表征。

親水性

該窗格呈疏水性,,如果樣品取自水懸浮液,,懸浮微粒則不能均勻地分布在薄膜上。用等離子蝕刻機對薄膜進行親水處理,,可暫時獲得親水效果,。雖然沒有對其使用壽命進行過測試,但預(yù)期可以獲得與同樣處理的鍍碳TEM網(wǎng)格相當(dāng)?shù)膲勖?。我們可以生產(chǎn)此種蝕刻窗格,,但無法保證其使用壽命。如果實驗室有蝕刻工具也可對其進行相應(yīng)的處理提高其親水性能,。

溫度特性:

氮化硅薄膜窗口產(chǎn)品是耐高溫產(chǎn)品,,能夠承受1000度高溫,非常適合在其表面利用CVD方法生長各種納米材料,。

化學(xué)特性:

氮化硅薄膜窗口是惰性襯底,。

應(yīng)用簡介和優(yōu)點:

1、 適合TEM,、SEM,、AFM、XPS,、EDX等的對同一區(qū)域的交叉配對表征,。

2、 大窗口尺寸,,適合TEM大角度轉(zhuǎn)動觀察,。

3、 無碳,、無雜質(zhì)的清潔TEM觀測平臺,。

4、 背景氮化硅無定形,、無特征,。

5、 耐高溫,、惰性襯底,,適應(yīng)各種聚合物、納米材料,、半導(dǎo)體材料,、光學(xué)晶體材料和功能薄膜材料的制備環(huán)境,(薄膜直接沉積在窗口上),。

6,、 生物和濕細胞樣本的理想承載體,。特別是在等離子體處理后,窗口具有很好的親水性,。,。

7、 耐高溫,、惰性襯底,,也可以用于化學(xué)反應(yīng)和退火效應(yīng)的原位表征。

8,、 適合做為膠體,、氣凝膠、有機材料和納米顆粒等的表征實驗承載體,。

氮化硅薄膜應(yīng)用范圍非常廣,,甚至有時使不可能變?yōu)榭赡埽袘?yīng)用都有無氮要求(因樣本中有氮存在):

惰性基片可用于高溫環(huán)境下,,通過TEM,、SEM或AFM(某些情況下)對反應(yīng)進行動態(tài)觀察。

作為耐用基片,,首先在TEM下,,然后在SEM下對同一區(qū)域進行“匹配”。

作為耐用匹配基片,,對AFM和TEM圖像進行比較,。

聚焦離子束(FIB)樣本的裝載,我們推薦使用多孔薄膜,,而非不間斷薄膜,。

許多研究納米微粒,特別是含氮納米微粒的人員發(fā)現(xiàn)此種薄膜窗格在他們實驗中不可缺少,。氣凝膠和干凝膠的基本組成微粒尺寸極小,,此項研究人員也同樣會發(fā)現(xiàn)氧化硅薄膜窗格的價值。

優(yōu)點:

• SEM應(yīng)用中,,薄膜背景不呈現(xiàn)任何結(jié)構(gòu)和特點,。

• x-射線顯微鏡中,裝載多個分析樣的**方法,。

• 無氮

高溫應(yīng)用,氮化硅薄膜在1000°C高溫下仍能保持穩(wěn)定的性能,。

使用前清潔:

氮化硅薄膜窗格在使用前不需進行額外清潔,。有時薄膜表面邊角處會散落個別氧化物或氮化物碎片。由于單片網(wǎng)格需要從整個硅片中分離,,并對外框進行打磨,,因此這些微小碎片不可避免,。盡管如此,我們相信這些碎片微粒不會對您的實驗產(chǎn)生任何影響,。

如果用戶確實需要對這些碎片進行清理,,我們建議用H2SO4 : H2O2 (1:1)溶液清潔有機物,用H2O:HCl: H2O2 (5:3:3)溶液清潔金屬,。

通常不能用超聲波清洗器清潔薄膜,,因超聲波可能使其粉碎性破裂。

詳細情況,,您可以與我們?nèi)〉寐?lián)系,。我們?yōu)槟灰唤獯稹?/p>

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