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儀器簡(jiǎn)介：

來(lái)自?shī)W林巴斯的3D測(cè)量激光顯微鏡OLS4100廣泛應(yīng)用于不同行業(yè)的質(zhì)量控制,，研究和開(kāi)發(fā)過(guò)程,，它在激光顯微領(lǐng)域樹(shù)立了全新的標(biāo)準(zhǔn)。該產(chǎn)品不但可以讓測(cè)量更加快速,、簡(jiǎn)單,，而且可以拍攝到畫質(zhì)更高的影像，大大突破了激光顯微鏡的界限,。

·非接觸式,、無(wú)損、快速成像和測(cè)量

·405nm短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,，其平面（XY方向）分辨達(dá)0.12μm,，高度（Z方向）分辨率達(dá)10nm

·采用雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器,，具有不同反射率材料的樣品也可以獲得鮮明的影像

·全新的多層模式可實(shí)現(xiàn)透明樣品表面的觀測(cè)和測(cè)量,，而且可以對(duì)多層透明樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。

·更多的測(cè)量類型，7種測(cè)量模式提供更多的選擇

·擁有DIC激光模式（激光微分干涉）,，能夠得到接近電子顯微鏡分辨率的影像,，實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察

·具有宏觀圖功能，讓你明白“始終身在何處”

·圖像拼接功能,，不但可以形成更大范圍的宏觀圖,，還可以通過(guò)此功能手動(dòng)指定所需的影像區(qū)域

·操作更加簡(jiǎn)單，可一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表

·內(nèi)置由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的“復(fù)合減震機(jī)構(gòu)”一穩(wěn)定操作環(huán)境,，可在普通的桌子上進(jìn)行測(cè)量作業(yè),，無(wú)需專用的防震平臺(tái)

·是業(yè)界**保證“正確性”和“重復(fù)性”的激光掃描顯微鏡

應(yīng)用實(shí)例

半導(dǎo)體

1、晶圓突起 2,、導(dǎo)光板 3,、芯片焊點(diǎn) 4、導(dǎo)光板激光點(diǎn)

電子元件/MEMS

1,、光掩版 2,、微透鏡 3、柔性電路板接觸點(diǎn) 4,、MEMS

原材料/金屬加工

1,、電鍍金剛石工具 2,、碳精棒 3,、極細(xì)管 4、膠帶

5,、砂紙#400（3D） 6,、砂紙#400（2D） 7、致密織物（3D）