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美國 Filmetrics
美國Filmetrics公司出品的F20 膜厚測量儀，可快速簡便的測量透光薄膜的光學(xué)參數(shù)(n,，k值),，可在幾秒內(nèi)測量并分析薄膜的表層和底層的反射光譜得到膜厚，折射率參數(shù),。
軟件以及USB接口可輕易的將儀器與Window系統(tǒng)的電腦連接,。軟件的數(shù)據(jù)庫預(yù)存100種以上材料的基本信息，利用這些已存信息可以測量多層結(jié)構(gòu),，用戶還可以通過擬合測量將新材料的光學(xué)系數(shù)存入系統(tǒng)以備今后應(yīng)用,。
測量條件：
薄膜：平整，半透明,，吸光薄膜,。例如：SiO2 SiNX DLC、光刻膠,、多晶硅無定形硅,，硅片；
基底層：平整,，反射基底,。如需測量光學(xué)系數(shù),，則需要平整鏡面反射基底,，如果基片是透光的，基片背面需要做反光處理,?？捎没桌纾汗杵?玻璃 鋁、GaAs 鋼 聚碳酸脂,、聚合物薄膜
暫無數(shù)據(jù),！
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