日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué),，05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah,， 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix,。2017年被Veeco收購,，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止,，Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗,，全球已安裝五百多臺ALD設(shè)備。

方式: Thermal ALD (plasma option)

優(yōu)勢: 性能強,，成本小,，易于操作和維護

薄膜: 氧化物Al2O3， HfO2,， La2O3,， Li2O， Li7La3Zr2O12,， LiFePO4,， SIO2， TiO2,， ZnO,， ZrO2， Ta2O5,， In2O3,， SnO2， Fe2O3,， MnOx,， Nb2O5， MgO,， Er2O3,， WOx， MoO3,， V2O3 硫化物ZnS,， SnS， Cu2S,， In2S3,， Cu2ZnSnS4,，PbS， CoS等

反應(yīng)腔體大小: S100: 可達100 mm / S200: 可達200 mm / S300: 可達300 mm

設(shè)備尺寸: S100: 585 x 560 x 980 mm / S200: 585 x 560 x 980 mm / S300: 686 x 560 x 980 mm

操作模式: 連續(xù)模式(高速) / 曝光模式(超高深寬比)

功率: 115 VAC / 220 VAC,，1900 W (不包含泵) (S300 2000W)

*強溫度: S100: RT - 400 °C / S200: RT - 350 °C / S300: RT - 350 °C

沉積均一性: Al2O3：<1% (1σ)

循環(huán)時間: <2s per cycle with Al2O3 at 200°C

兼容: 標準二端口,，可增加至六端口。每一個源瓶均可放固態(tài)/液態(tài)/氣態(tài)前驅(qū)體,，可獨立加熱至200°C

閥門: 高速ALD閥門,，10ms響應(yīng)

前驅(qū)體源瓶: 獨立可加熱50ml不銹鋼氣瓶,，可選擇更大容量

載氣/排氣: N2,，100SCCM

原位分析選項: 原位QCM， 原位橢便儀,， 殘余氣體分析,， LVPD， 批量生產(chǎn),， 集成手套箱等,， 臭氧發(fā)生器， 批量生產(chǎn),， 自組裝單層膜(SAMs)顆粒鍍膜,， 等離子體加強