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需要在負(fù)膠的SU-8實現(xiàn)正膠輪廓,？,？
新產(chǎn)品光刻膠輪廓修改劑帶來了新的契機。
輪廓修改劑直接旋涂在Pre-baked的SU-8光刻膠頂部,，降低了光刻膠膜頂部的光靈敏度,，取得了正型的側(cè)壁。
影響SU-8輪廓效果的原因
1）光刻膠類型及厚度
2）XP TQC膠的厚度
3）曝光量
4）顯影后的去膜量
5）曝光類型（靠近或軟接觸）
正錐形輪廓：
1）在Micro-Molding應(yīng)用中,，實現(xiàn)模具去除步驟
2）需要在結(jié)構(gòu)的頂部和側(cè)壁上的后續(xù)金屬沉積步驟
暫無數(shù)據(jù),！
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