日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

市場上使用405納米激光器的**分辨率600納米的結(jié)構(gòu)

405納米激光源,，可用于要求更高的應(yīng)用

緊湊型光學(xué)模塊：使用備用光學(xué)模塊減少機(jī)器停機(jī)時間

用戶友好操作

獨(dú)特的研發(fā)機(jī)會

405nm光學(xué)模塊將允許系統(tǒng)*小線寬達(dá)到600納米

能力

-市場上使用壽命長的405納米激光器的**分辨率,。

-*小線寬達(dá)到600納米

-高達(dá)4095級的直寫灰度

-375納米激光可用于要求更高的應(yīng)用(選配：375納米激光)。

-光柵模式和矢量模式可用,。

-軟件可控制的寫入模式選擇,。

-實時自動聚焦成為可能。

-支持從5mm x 5mm到125mm x 125mm的基板

操作

-現(xiàn)代的基于Microsoft Windows的用戶界面允許用戶友好的操作,。

-高度自動化的處理,，一鍵操作。

-遠(yuǎn)程互聯(lián)網(wǎng)支持

安裝和維護(hù)

- MLW-100是一個緊湊的桌面系統(tǒng),，需要*小的清潔空間,。

-緊湊型光學(xué)模塊：使用備用光學(xué)模塊來減少機(jī)器停機(jī)時間。

-安裝快速方便：除操作PC和真空泵外,，所有主要部件

安裝在外殼內(nèi),。

-維護(hù)成本*低，無需定期維護(hù),。

緊湊型光學(xué)模塊,，具有**的穩(wěn)定性和短停機(jī)時間

完整的光學(xué)路徑包含在一個小的可更換模塊（光學(xué)模塊）中。通過盡可能短的優(yōu)化路徑,，與傳統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)置相比,，點穩(wěn)定性大大提高。光學(xué)模塊包含壽命長的405 nm激光和**光斑形狀的光束整形光學(xué)元件,。

特征：

-市場上*小的高品質(zhì)激光束光斑,。

-集成的650納米紅色激光控制自動對焦系統(tǒng)自動糾正高度變化,。

-綜合劑量控制。

-選項：對于要求較低的任務(wù),，可以使用全自動NA開關(guān)選擇較大的光斑尺寸,。此開關(guān)允許系統(tǒng)使用更大的點以提高速度。

光學(xué)特性

激光源405納米,，GaN激光器

壽命>10000小時

寫入模式：0.6μm,，可選1.2μm和2.0μm FWHM。

工作距離0.9毫米

**強(qiáng)度為3 mW,，軟件可控,。

灰度控制4095級

自動對焦800 Hz band寬，650nm 紅光激光控制

-0.3…x…+0.3 mm高度變化,，帶自動高度跟蹤,。

快速的音圈執(zhí)行器，精確的實時Z校正,。

焦距可通過軟件控制進(jìn)行調(diào)整。

正面對準(zhǔn)

光學(xué)模塊配備高分辨率攝像機(jī),，用于需要多層的應(yīng)用,。相機(jī)圖像由高級成像軟件處理。自動標(biāo)記識別使用戶很容易找到標(biāo)記,。用戶可以設(shè)定任何形狀作為標(biāo)記,。當(dāng)在相機(jī)的視場中找不到標(biāo)記時，軟件支持區(qū)域掃描,，以便在更大的區(qū)域中自動搜索標(biāo)記,。對齊和圖像補(bǔ)償可以基于一個、兩個或三個標(biāo)記,。

正面對準(zhǔn)指標(biāo)：

校準(zhǔn)照相機(jī)單色520萬像素,。

像素分辨率1μm

*終對準(zhǔn)精度 <0.5μm

修正算法通過掃描和步進(jìn)軸之間的插值運(yùn)動進(jìn)行位置、比例（**5%）,、傾斜,、旋轉(zhuǎn)（**+/-5度）旋轉(zhuǎn)修正。

MLW-100配備了用于X和Y運(yùn)動的高精度軸和一個用于Z運(yùn)動的可選軸,。掃描軸（Y）包含一個高精度燕尾形空氣軸承,，該軸承由帶納米分辨率編碼器的直線電機(jī)驅(qū)動。步進(jìn)軸（X）采用帶直線電機(jī)和高分辨率光學(xué)編碼器的精密滾子軸承,。該系統(tǒng)允許極低的機(jī)械誤差和快速掃描運(yùn)動,。可選的電動控制Z軸具有12 mm行程,，以支持各種基板厚度,。

用真空吸盤夾緊基板,。真空吸盤易于更換，以支持不同的基板尺寸,。

機(jī)械性能

行程和階梯**115 mm

重復(fù)性<50 nm RMS

分辨率10納米

掃描速度**200 mm/s

直線度軸 <1μm,，在100 mm范圍

樣品厚度：0-10 mm手動調(diào)整；12 mm,，安裝可選電動Z軸,。

樣品襯底厚度變化**值+/-0.2mm

樣品襯底尺寸：5mm x 5mm到125mm x 125mm

曝光區(qū)域： 100mm x 100mm