日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

儀器簡(jiǎn)介：

此系統(tǒng)可以配置多種沉積方式(預(yù)留各種功能接口),，高度靈活，非常適合多種沉積模式的科研.

高真空條件沉積模式（使用機(jī)械泵+分子泵,，或冷凝泵）,。多種組合沉積模式，同一腔體實(shí)現(xiàn)多種功能沉積方式,，沉積源模式有:

磁控濺射源Sputter source

電子束蒸發(fā)E-beam Sources

K-cell蒸發(fā)

熱蒸發(fā)Thermal sources

氧化物源Oxide sources

此系統(tǒng)高度靈活,，軟件操作方便，專業(yè)為研究機(jī)構(gòu)沉積超純度薄膜,，真正的高真空沉積系統(tǒng),。

The System is designed to be a highly flexible system for thin-film research in ultra pure conditions. The system can be configured to be true-UHV and allows for multiple deposition component options.

感謝中科院上海應(yīng)用物理研究所上海光源同步實(shí)驗(yàn)部用此設(shè)備，為廣大專業(yè)研究人員提供服務(wù)??！

上海光源同步實(shí)驗(yàn)部配置的是磁控濺射（直流和射頻均有）和電子束蒸發(fā)的組合功能，膜厚均勻性(鍍膜500納米左右厚度)均達(dá)到<3%,，這種組合系統(tǒng)極大地?cái)U(kuò)展了沉積功能,，性能價(jià)格比超高，是研究人員的有力工具??！

使用此系統(tǒng)的主要用戶還有：中科院微系統(tǒng)所，北京大學(xué),，中國(guó)科技大學(xué),，中北大學(xué)等

技術(shù)參數(shù)：

頂部法蘭: 12”

Radial ports：4 x NW100CF

沉積接口: 5 x NW100CF， 4 x NW35CF

分子泵: 300ls ,， 500 ls options

樣品操作: Quick-open top-lid.

極限真空: <5x 10e-10 (24小時(shí)烘烤)

機(jī)柜: Low footprint frame on transport casters

樣品臺(tái)操控: Rotation,， heating,， bias

樣品操作: Load-Lock （可選）

Sample size樣品尺寸: 1”， 2”,， 3”,， 4” ，大到8”,，12”等

膜厚監(jiān)控: QCM,， Ellipsometry

烘烤: Internal or jacket

全自動(dòng)軟件操作，方便簡(jiǎn)單：Automation Touch screen pump down and process automation

系統(tǒng)尺寸:

Width: 1.5m

Height: 1.6m

Length (standard): 1.3m

Length: (with Loadlock): 2.0m

主要特點(diǎn)：

Top-loading chamber (500mm直徑)

超高真空匹配接口

多種沉積源模式接口

Analysis,， load-lock and viewing ports

多種樣品夾具,， 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，加熱/冷卻,，DC/RF偏壓

多種沉積源模式:包括 high-rate e-beam， low-rate (high accuracy) e-beam,， DC and RF sputtering,， thermal， K-cell,，oxide sources.