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儀器簡(jiǎn)介： 美國(guó)高分辨深能級(jí)瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測(cè)半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級(jí),、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段,！測(cè)試功能：電容模式、定電容模式,、電流模式,、（雙關(guān)聯(lián)模式）,、光激發(fā)模式,、FET分析、MOS分析,、等溫瞬態(tài)譜,、Trap profiling、俘獲截面測(cè)量,、I/V,，I/V(T) 、C/V,， C/V(T) ,、TSC/TSCAP 、光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜,、DLOS,。

測(cè)試根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C~t）技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術(shù)測(cè)量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜,，是一種具有很高檢測(cè)靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,，能檢測(cè)半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài),。通過(guò)對(duì)樣品的溫度掃描,，給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS譜,，集成多種全自動(dòng)的測(cè)量模式及全面的數(shù)據(jù)分析,，可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布,。

也可用于光伏太陽(yáng)能電池領(lǐng)域中,，分析少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的關(guān)鍵性雜質(zhì)元素和雜質(zhì)元素的晶格占位，確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命,。

感謝中國(guó)科學(xué)院寧波材料研究所,，國(guó)家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心南昌大學(xué)西安電子科技大學(xué)成為此設(shè)備的專業(yè)用戶！,！

此設(shè)備在全球用戶眾多,，比歐洲設(shè)備性能價(jià)格比高，是研究材料深能級(jí)領(lǐng)域的理想工具！,！

系統(tǒng)配置:

DLTS數(shù)據(jù)采集及分析軟件 (DLTS,， ODLTS， DDLTS)

Boonton 7200型快速電容測(cè)試器

自動(dòng)電容零點(diǎn)界面

數(shù)據(jù)采集卡及中斷箱

ODLTS穿導(dǎo)件

機(jī)柜安裝硬件及電纜

設(shè)備機(jī)柜

GPIB 接口卡

電腦是雙核,， 2GB 內(nèi)存,， 19”顯示器. USB 接口， CD書寫用于數(shù)據(jù)傳輸.

可調(diào)節(jié)探針(2)

閉環(huán)液氦制冷機(jī) (25-700K)

溫度控制器

電容測(cè)試器指標(biāo):

型號(hào): Boonton 7200

電容零點(diǎn)界面: Yes

全自動(dòng)電容補(bǔ)償: Yes

全自動(dòng)范圍設(shè)置: Yes

響應(yīng)時(shí)間: ~25μsec

補(bǔ)償范圍: 256pF

測(cè)試頻率: 1MHz

測(cè)試信號(hào)級(jí)別: 15,， 30,， 50， 100 mV

電容范圍: 2000pF

靈敏度: 1fF

電壓范圍: +100V to –100V (Boonton)

+10V to –10V (數(shù)據(jù)采集卡)

靈敏度: 1mV (電壓小于 20V時(shí)),， 10mV (電壓大于 20V時(shí))

0.3mV (數(shù)據(jù)采集卡)

脈沖寬度: 15ms to >0.1sec (Boonton內(nèi)置偏壓)

5μs to >0.1sec (數(shù)據(jù)采集卡)

脈沖幅度: 到 200V,， slew rate <20v>

到 20V， slew rate of 20V/μs (數(shù)據(jù)采集卡)

電流: 5mA

數(shù)據(jù)采集卡瞬時(shí)記錄:

采樣速率: 可至 1μs. 一般使用 >50μs

采樣次數(shù): >10,，000.

記錄分辨率: 50ns暫時(shí)分辨率,， 優(yōu)于 50aF 電容分辨率

過(guò)濾: 全自動(dòng)檢測(cè)及正弦噪音消除