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脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)
脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)

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優(yōu)異的性能,, PVD公司生產(chǎn)的脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)在國內(nèi)有較多用戶,,為眾多老師開啟薄膜外延制備的新篇章。歡迎前來參觀咨詢,。

主腔室,,樣品傳輸腔,,1100度加熱系統(tǒng),樣品旋轉(zhuǎn),,PLD靶材操控器及光路,,K-cell熱蒸發(fā)源,電子束蒸發(fā)源,,射頻RF離子源

PVD公司是美國主要制造商,,是一家專業(yè)從事脈沖激光沉積分子束外延(PLD MBE)和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)及組件的設(shè)計(jì)和制造的公司,提供超高真空薄膜沉積系統(tǒng),,應(yīng)用于分子束外延,、UHV濺射和脈沖激光沉積。產(chǎn)品主要集中在小型研究開發(fā)系統(tǒng),,其應(yīng)用主要包括:

用分子束外延進(jìn)行半導(dǎo)體材料,、ZnO、GaN,、SiGe和金屬/氧化物外延生長,;

UHV磁控濺射磁性薄膜;

脈沖激光沉積超導(dǎo)薄膜,、氧化物和陶瓷材料,。

應(yīng)用主要包括:

分子束外延系統(tǒng)(MBE)

GaAs、InP和GaSb外延

HgCdTe外延

GaN,、InN和AlN外延

Ⅱ-Ⅵ族外延

SiGe外延

Si/金屬/氧化物外延

超高真空物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)

磁控濺射系統(tǒng)

脈沖激光沉積(PLD)系統(tǒng)

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

離子束沉積系統(tǒng)

熱蒸發(fā)系統(tǒng)

已經(jīng)在全球范圍內(nèi)安裝了超過100套的超高真空系統(tǒng),。絕大部分的產(chǎn)品都是針對(duì)用戶定制設(shè)計(jì)復(fù)雜的沉積系統(tǒng)。在標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)制造業(yè)中有著深厚的為用戶定制設(shè)計(jì)的背景,,在用戶中具有很好的聲譽(yù),。許多的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)*初都是起源于針對(duì)某些客戶對(duì)沉積過程特殊需求的解決方案,與廣大的中國用戶開展更為廣泛的交流與合作,,為廣大的中國用戶提供國際頂尖PLD MBE和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)制造商的產(chǎn)品和服務(wù),。

創(chuàng)新點(diǎn)

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