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Tergeo-EM 等離子清洗機(jī)
● 集成直接浸泡和遠(yuǎn)程/Downstream清洗模式
● 實(shí)時(shí)檢測等離子體強(qiáng)度的等離子體傳感器
● 可毫秒級別短脈沖操作。
● All-in-one實(shí)驗(yàn)室等離子蝕刻,、處理和清洗系統(tǒng),。
● 用于批量加工的大型樣品室，帶有矩形石英樣品托盤
● 雙TEM 適配器,，可配置為支持兩個(gè)不同品牌的樣品桿
支持不同TEM/SEM系統(tǒng)
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
敏感的樣品如何用傳統(tǒng)等離子清洗,？
通常需要很高的射頻功率來點(diǎn)燃等離子體，但是一旦等離子被點(diǎn)燃,，等離子就可以較低的射頻功率維持,。但是傳統(tǒng)的等離子體清洗機(jī)很難自動、可靠地產(chǎn)生極弱的等離子體來處理諸如TEM碳膜和對熱等敏感樣的品,。
為什么Tergeo EM可以輕松處理易破和熱敏性樣品,？
Tergeo EM等離子清洗機(jī)集成SmartClean TM獨(dú)特的等離子傳感器，可以實(shí)時(shí)測量等離子強(qiáng)度,，系統(tǒng)控制器不斷地了解等離子體的狀態(tài),。如果等離子體未能在低射頻功率設(shè)置下點(diǎn)燃，系統(tǒng)將自動增加射頻功率,，直到等離子體點(diǎn)燃,。一旦等離子體點(diǎn)燃，系統(tǒng)將立即將射頻功率降低到配方設(shè)置,。這一功能使Tergeo EM的射頻功率比同產(chǎn)品功率低得多,。
同系統(tǒng)中包含兩種直接浸泡和遠(yuǎn)程Downstream清洗模式。遠(yuǎn)程Downstream清洗模式提供了一種溫和的處理方法,，可以顯著減少傳統(tǒng)直接模式等離子體系統(tǒng)中的樣品加熱,、離子濺射問題。
系統(tǒng)還可選擇脈沖模式操作,，該模式能夠可靠地產(chǎn)生平均功率小于0.25瓦的極弱等離子體,。
暫無數(shù)據(jù)！
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