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Tergeo-EM 等離子清洗機
● 集成直接浸泡和遠程/Downstream清洗模式
● 實時檢測等離子體強度的等離子體傳感器
● 可毫秒級別短脈沖操作,。
● All-in-one實驗室等離子蝕刻、處理和清洗系統(tǒng),。
● 用于批量加工的大型樣品室,，帶有矩形石英樣品托盤
● 雙TEM 適配器,，可配置為支持兩個不同品牌的樣品桿
支持不同TEM/SEM系統(tǒng)
| Direct & downstream 清洗模式 | ||
敏感的樣品如何用傳統(tǒng)等離子清洗？
通常需要很高的射頻功率來點燃等離子體,，但是一旦等離子被點燃,，等離子就可以較低的射頻功率維持。但是傳統(tǒng)的等離子體清洗機很難自動,、可靠地產生極弱的等離子體來處理諸如TEM碳膜和對熱等敏感樣的品,。
為什么Tergeo EM可以輕松處理易破和熱敏性樣品？
Tergeo EM等離子清洗機集成SmartClean TM獨特的等離子傳感器,，可以實時測量等離子強度,，系統(tǒng)控制器不斷地了解等離子體的狀態(tài)。如果等離子體未能在低射頻功率設置下點燃,，系統(tǒng)將自動增加射頻功率,，直到等離子體點燃。一旦等離子體點燃,，系統(tǒng)將立即將射頻功率降低到配方設置,。這一功能使Tergeo EM的射頻功率比同產品功率低得多。
同系統(tǒng)中包含兩種直接浸泡和遠程Downstream清洗模式,。遠程Downstream清洗模式提供了一種溫和的處理方法,，可以顯著減少傳統(tǒng)直接模式等離子體系統(tǒng)中的樣品加熱、離子濺射問題,。
系統(tǒng)還可選擇脈沖模式操作,，該模式能夠可靠地產生平均功率小于0.25瓦的極弱等離子體。
暫無數(shù)據,！
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