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遠程控制等離子清洗機 型號：EM-KLEEN 用于電子顯微鏡等分析儀器如SEM,、FIB,、TEM樣品室的清潔、XPS和SIMS,、ASE 系統(tǒng) | 源于勞倫斯伯克利國家重點實驗室的SmartCleanTM 技術,，設計精巧，智能,，功能強大 EM-KLEEN 構成： Pirani壓力傳感器 ：實時監(jiān)測樣品室壓力，可以作為安全模式的安全聯(lián)鎖觸發(fā)器,，并未功能計數(shù)器加載事件 自動氣體流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr,，自動調(diào)節(jié)氣體流量 等離子強度傳感器 ：用戶可實時監(jiān)測等離子強度狀態(tài) 溫度傳感器 : 提供聯(lián)鎖保護，防止長時間工作電源工作溫度過高 冷卻風扇 ：大功率風冷冷卻,，而不會導致電源過熱 液晶觸摸屏控制器 ：嵌入式微處理器，串聯(lián)工作,，自動控制系統(tǒng),，并為客戶提供保護 |
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