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前道涂膠顯影機品牌
大族半導體產(chǎn)地
廣東樣本
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主要特點：
設備特點：
1,、堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu),，占地面積小
2、配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng),，有效節(jié)省光刻膠的用量
3,、選配高精度熱板、WEE,、AOI等單元部件,，滿足更高標準工藝需求
4、核心單元模塊化設計,，組合方式靈活多變,，**限度客制化
5、滿足工廠FA自動化需求
6,、可以與主流光刻機聯(lián)機
暫無數(shù)據(jù),！
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