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主要特點：

1、成像質(zhì)量:使用***的相機技術(shù)以實現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描

2,、量測集成包：大族激光是**家使用量測集成包的公司,，能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案

3,、光學系統(tǒng):使用自主先進的大視野顯微鏡，配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術(shù)

4,、缺陷查找：使用先進的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異

5,、直線高精電機，XYZ平臺, 100納米分辨率

6,、機械結(jié)構(gòu)200納米精度

7,、潔凈化設計 (運動平臺在晶圓下側(cè))

8、浮式基座平臺減小設備震動影響

主要參數(shù):

加工效果：