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應(yīng)用于寬禁帶半導(dǎo)體器件,、電力電子器件、光電子等行業(yè)氮化硅,、多晶硅或氧化硅薄膜的制備,；適用工藝有LPCVD。
溫度控制采用串級控制方式,，對基片實際溫度進(jìn)行實時智能控制,；
裝載采用SiC懸臂槳，避免了與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵,。
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